
Criadóireacht Miotalaithe Meaisín Clúdaithe
Glacann an meaisín sciath miotailithe NdFeB (iarann bónón) sliseanna ceirmeach / dromchla colún, próiseas sputtering magnetron ar an dromchla sliseanna / colún NDFeB (bónón iarainn neodimiam) chun taispeántas scannán miotail Tb (terbium), nó scannán miotail (dysprosium), agus feabhas a chur air feidhmíocht ceirmeach maighnéadach trí chóireáil idirleatha.
- Réamhrá Táirgí
IKS-HM Cothrománach Meaisín Clúdaithe Cathaóidí Soghluaiste
l Ainm Trealamh
IKS-HM NdFeB (bónón iarainn neodimiam) sliseanna ceirmeach / dromchla colún meaisín sciath miotailithe
l Iarratas Trealaimh
Glacann an meaisín sciath miotailithe NdFeB (iarann bónón) sliseanna ceirmeach / dromchla colún, próiseas sputtering magnetron ar an dromchla sliseanna / colún NDFeB (bónón iarainn neodimiam) chun taispeántas scannán miotail Tb (terbium), nó scannán miotail (dysprosium), agus feabhas a chur air feidhmíocht ceirmeach maighnéadach trí chóireáil idirleatha.
l Dearadh Líne Táirgthe
Thuig meaisín cumhdaigh IKS-HM an táirgeadh mór bhaisc de scannán sciath miotalaithe colún ceirmeach beag, is féidir leis 40,000 ríomhaire a tháirgeadh in aghaidh an lae. Oiriúnach chun an scannán feidhmiúil miotail a chumhdach ar dhromchla colún ceirmeach maighnéadach NdFeB, cosúil leis an scannán tanaí a mhodhnú dromchla de sputtering Tb, Dy agus Al, etc. Is dearadh go hiomlán uathoibríoch, táirgeadh leanúnach bhaisc, éifeachtacht ard táirgeachta, glaineachta ard, dea-iontaofacht .
l Saintréithe Teicniúla
1. Is féidir le dromchla an sorcóra ceirmeacha agus an bhileog ceirmeacha a chótáil
2. Laghdaíonn línte táirgeachta an damáiste don chomhshaol agus do chorp an duine
3. Méid an dysprosium agus na dtréibiam a rialú go cruinn, ach amháin úsáid ábhar neamhchoitianta agus an ráta úsáide a fheabhsú
4. Feabhas a chur ar dhoimhneas an dysprosium osmotic agus na créibiam osmotic, feabhas a chur ar fheidhmíocht
5. Dearadh caighdeánaithe agus modúlach, is féidir an modúl próiseála a fheabhsú go páirteach agus a choigeartú de réir an iarratais táirgeachta iarbhír. Is é an próiseas agus an táirge a uasghrádú simplí, ar chostas íseal.
l Paraiméadair Theicniúla
1. Toise Athsholáthair : W800 × L2600 × H2200mm | 7.Sputering: DC magnetron sputtering |
2. Méid an Chláir: W1250 × L1400 × H700mm | 8. Ráta Teagaisc: <0.5μm am,="" 3-6="" nóiméad="">0.5μm> |
3. Sealbhóir Luaidhe: W950 × L750mm | 9.Dearadh: Seomra agus Próiseas an tsuímh mhodúilithe |
4. Ábhar Soláthair: sprioc pléiteora W125 × L750mm | 10.Proghas: Gás tomhais sreabhadh agus próiseas rialaithe comhla |
5. Píosa Oibre Cónaithe: Ф 5- Ф Colún ceirmeach 15mm agus sliseanna ceirmeach tiús 2-10mm | 11. Foinse Pótair: 220V 50Hz |
6.Vacuum Rang: ATM-6 × 10-4Pa | 12. Flange Ceangal Seachtrach: KF16 agus KF25 |
13.Vacuum System: Caidéil rothlacha, caidéil Roots agus caidéil mhóilíneacha | |
l Réamhrá Struchtúr Trealamh
Is éard atá sa trealamh ná an seomra folúis , grúpa caidéil bhfolús , raca luchtú , cathóide, tomhas folúsach agus córas rialaithe gáis phróiseas.

( 1 ) An tSeomra le teacht isteach agus amach sealbhóirí substráit
Is é an seomra folúis, an méid W1250 × L1400 × H700mm.Tá tiús an bhoird seomra 20mm, lasmuigh den fhuaraithe, atá feistithe le fuinneog breathnóireachta. Córas folúis: comhdhéanta de chaidéal rothlacha 1pc TRP60, caidéal móilíneach 1pc FF250 / 2200. I gceangal le haer, úsáidtear an comhla flap neamhspleách, gníomh simplí agus éifeachtach. Tá sé níos lú ná 60 soicind chun céim fholús 8Pa a bhaint amach.
( 2 ) Sealbhóir tosaigh an tsubstráit inlet
Tá sé W1250 × L1200mm, Is é 1200mm an t-airde stroighne inlet, simplí a oibriú, a shuiteáil sratráit inlet iomlán uathoibríoch, an cnaipe luchtaithe, agus an cnaipe éigeandála stop go tobann. Dearadh iomlán róin a uchtaíodh, ceapadh 2pcs scagaire a ghlanadh go beatha aer (FFU), chun a chinntiú go glanfar an tsubstráit sciath.
( 3 ) Córas Próiseála Coisithe Sputtering
Bhí an córas próiseála sciathán sputtering comhdhéanta de chatóide inbhainte amháin agus i gcoinne foinse cumhachta sputtering DC. Is é méid an sprioc catóide ná W125 × L950mm, is é foinse cumhachta 10KW DC cumhacht DC a rinne sa tSín. Bain úsáid as an gcóras soláthair gáis phróiseála 2 pcs de thomhas sreabhadh agus tomhas folúis, chun céim an fholús a rialú. Tá dhá chineál tráidire sealbhóir píosa oibre le haghaidh malartach, is é ceann tráidire féin-uainíochta do cholún ceirmeach, is é ceann amháin tráidire sliseanna ceirmeacha. D'fhéadfaí tráidire iontógáil uathoibríoch agus próiseas sciath uathoibríoch a bheith acu. Tiús taiscéalaíochta an chóta a rialaíonn agus a chomhaireamh trí mhinicíochtaí sciath agus cumhacht sputtering a chaitheamh, is féidir é a rialú go beacht go 0.5nm.
Clibeanna Te: meaisín sciath miotalaithe criadóireachta, an tSín, monaróirí, soláthraithe, ceannaigh, saincheaptha, déanta sa tSín









