Bácáil - Fachtóir a Dhéanann An Córas Fholúis

I gcás bácála, D'fhonn brú a bhaint amach sa raon bhfolús ultra-ard ( ^10-8 hPa), ní mór na coinníollacha seo a leanas a chomhlíonadh:

1. Ba cheart go mbeadh níos lú ná 10 n-uaire ag an bhfolús deiridh den chaidéal folúis an brú deiridh is gá.

2. Ní mór na hábhair a úsáidtear do na seomraí agus na comhpháirteanna bhfolús a uasmhéadú chun íosghrádú íosta, agus ba cheart go mbeadh leibhéal cuí cóireála dromchla ann.

3. Ba chóir úsáid a bhaint as rónta miotail (mar shampla, naisc flange CF nó caighdeán ISO flange Helicoflex rónta).

4. Tá glanadh riachtanach d'fholús ultra-ard. Caithfear gach cuid a ghlanadh go críochnúil sula gcuirfear isteach iad agus ní mór do na hoibreoirí lámhainní saor ó ramhar a chaitheamh nuair a shuiteáil siad páirteanna.

5. Ní mór trealamh agus caidéil ardfholús a bheith bácáilte.

6. Ní mór sceitheanna a sheachaint agus a dhíchur sula dtosaíonn siad ar an téitheoir. Chun na críche sin, ní mór braiteoir sceitheadh héiliam nó mais-speictriméadar quadrupole a úsáid.

7. Méaduithe bácáil an ráta díluchtaithe agus an difreálach go suntasach, agus mar thoradh air sin laghdaítear an t-am súchán go gasta. Mar chéim dheiridh an phróisis déantúsaíochta, is féidir díghrádaithe a dhéanamh ar sheomraí UHV ag teocht suas le 900 ° C. Féadfaidh an teocht bácála ina dhiaidh sin teacht ar 300 ° C. De ghnáth, teorainneacha treoracha an mhonaróra caidéil don teocht is airde de bhácáil an flange caidéil folúis ard an teocht uasta ag obair go 120 ° C. Má úsáidtear foinse teasa (mar shampla, teas radanta) i ngléas bhfolús, ní mór an chumhacht réasúnta ceadaithe a thabhairt faoi deara.

8. Cuirfear an trealamh i bhfeidhm tar éis a shuiteáil. Tar éis brú 10 ^-5 hPa a bhaint amach, téigh ar an téitheoir. Le linn an phróisis téimh, bhí an tomhas ar fholús á oibriú agus díchásaíodh é in aghaidh an 10 uair an chloig. Má úsáidtear coimeádán cruach dhosmálta agus séala miotail le grád cóireála dromchla oiriúnach, teocht bácála 120 ° C agus go bhfuil am teasa de thart ar 48 uair an chloig leordhóthanach chun raon brú 10 ^-10 hPa a bhaint amach.

9. Ba chóir leanúint ar aghaidh le bácáil go dtí go sroicheann sé 100 uair an brú deiridh a bhfuiltear ag súil leis. Ansin, cuir an caidéal agus an téitheoir seomra folúis amach. Tar éis fuaraithe, is dócha go mbainfear an brú deiridh atá ag teastáil amach. Ag brúnna faoi bhun 5x10 ^-10 hPa, beidh buntáiste mór le limistéar mór dromchla inmheánach caidéal a bhaineann le gás (caidéal sublimation tíotáiniam) a úsáid a chaiteann an hidrigin a éalú as an miotail ag ráta sreabhadh mórmhéadrach.