Eolas bunúsach ar fholús

Eolas bunúsach ar fholús

IKS PVD, déantúsaíocht trealaimh sciath pVD i bhfolús, déan teagmháil linn anois, chun tuilleadh sonraí a fháil faoin sciath bhfolús.

.

Ní féidir teicnící taiscéala gaile fisiceacha (PVD), cosúil le galú, sputtering, agus taiscéalacha ian a bhaint amach ach amháin faoi choinníollacha folúis.

Baineann ullmhú na n-ábhar scannán tanaí nua-aimseartha, cibé acu an teicneolaíocht taiscí gal fisiciúil (PVD) nó teicneolaíocht taiscí gal ceimiceach (CVD), ná giniúint chéim gháis, iompar, imoibriú, comhdhlúthú, taiscéaladh agus próisis eile faoi choinníollacha folúis. Dá bhrí sin, cuirtear an t-eolas bunúsach ar fholús a bhaineann le hullmhú scannáin tanaí a thabhairt isteach go hachomair sa pháipéar seo.

Eolas bunúsach ar fholús

Ag baint úsáide as fórsa seachtrach chun na móilíní gáis a bhaint i spás dúnta áirithe, ionas go mbeidh an brú sa spás níos lú ná brú atmaisféar amháin, tugtar folús i riocht fisiceach an gháis sa spás.

I 1643, léirigh turgnamh brú atmaisféarach cáiliúil Torricelli don chéad uair go raibh an fholús ann, staid fhisiceach gás íseal-bhrú, agus fuair sé an sainmhíniú ar bhrú atmaisféir (déantar an brú a ghineann colún mearcair 76mm a shainmhíniú mar 1m) agus an bonn le haghaidh tomhais folúis.

Is é brú an gháis a léiríonn an céim fholús, agus is é mmHg (1atm = 760mmHg) an t-aonad tosaigh céim bhfolús.

I 1958, mar chuimhneach ar Torricelli, baineadh úsáid as na chéad cheithre litir dá chrann ainm chun mmHg a chur in ionad an aonaid céim bhfolús (1 torr = 1 mmHg).

Glacadh leis an gcóras ceintiméadar-gram-dara (CGS) freisin, le barra mar an t-aonad (1bar = 1 x 105Pa), agus mbar níos coitianta (1mbar = 100Pa).

Faoi láthair, le dul chun cinn caighdeánú, tá córas idirnáisiúnta na n-aonad (córas IR, eadhon córas MKS) i bhfeidhm de réir a chéile, agus bíonn Pa mar an t-aonad (1atm = 1.013 * 105Pa) sa bhfolús.

Cuimhnigh go bhfuil an fholús idir lúibíní á thiontú go hiondúil ina n-aonad, agus ní gá imní a bheith ag mamaí faoi na haonaid éagsúla sa litríocht a mhearbhall.

Fáil a fháil

Mar shampla, nuair a bhíonn deoch á ól agat, is é an prionsabal ná go ndéanaimid an t-aer a tharraingt amach sa tuí agus an fhuíoll a chruthú taobh istigh den tuí (tá an brú taobh istigh den tuí níos lú ná an brú atmaisféir sheachtraigh). Faoi ghníomh na difríochta brú, brúigh muid an deoch taobh istigh den chnaoi isteach inár béal tríd an tuí.

Ar an gcaoi chéanna, nuair a bhíonn ábhair scannáin tanaí nua-aimseartha á n-ullmhú, is féidir an fholús a theastaíonn a "tarraing" as an aer a thaisceadh sa seomra le gléas a dtugtar caidéal folúis.

De réir phrionsabal oibre an chaidéil fholús, is féidir é a roinnt ina dhá chatagóir: caidéal iompair gáis (déantar gáis a ionanálú agus a scaoileadh amach as an gcaidéal folúis chun críche sceite a bhaint amach) agus caidéil gabhála gáis (ag baint úsáide as carbón gníomhachtaithe agus eile ábhair inspioráideacha agus gléas foinse fuar a bheidh le tarraing ag móilíní gáis sa spás pumpála). De réir an raon brú oibriúcháin caidéil folúis, is féidir iad a roinnt sa chéad chéim den chaidéal (brú tosaigh ard) agus tar éis céim na caidéil (brú íseal ag tosú).

Taispeántar cuma agus struchtúr inmheánach caidéil meicniúla uainchill rothlacha i bhfigiúr 1. Is cineál caidéil iompair gáis é, is féidir a bheith ag obair go díreach ó bhrú an atmaisféir. Is caidéal tosaigh é a úsáidtear go coitianta.

Figiúr 1 cuma caidéil meicniúil agus léaráid struchtúr inmheánach

Is é prionsabal oibre an chaidéil mheicniúil uainíocht rotor na gcodanna atá ag gluaiseacht meicniúil a úsáid ar an roth eccentric chun cuspóir an inspiration-compression-exhaust a bhaint amach, mar atá léirithe i bhfigiúr 2 (is ionann na poncanna liath sa figiúr agus an aer ).

FIG. 2 léaráid scéimeach de phrionsabal oibre caidéil mheicniúla

Is cineál caidéil ard-airde é caidéal turbóilíneach a ghintear le teicneolaíocht nua-fholús nua le haghaidh riachtanais timpeallacht saor ó ola agus ardfholús. Is cineál caidéil iompair gáis é. Mar sin féin, ní mór a bhrú oibre tosaigh a bheith níos lú ná 1Pa. Léirítear an chuma agus an struchtúr inmheánach i bhfigiúr 3.

FIG. 3 cuma agus struchtúr inmheánach an chaidéil mhóilíneach tuirbín

I gcaidéal móilíneach an tuirbín, tá rothlú ilchéime agus statóirí le rotors agus statóirí éagsúla idirnasctha, agus tá luas an lann rotor suas le 20000 ~ 60000k r / min. Déanfar na móilíní gáis a iompar ón lann uachtarach a chomhbhrúite níos mó leis an gceann is ísle faoi ghníomhaíocht an lann níos ísle, is é sin, fuinneamh cinéiteach a aistriú go leanúnach chuig na móilíní gáis trí imbhualadh, agus déanfar na móilíní gáis a chomhbhrúite agus a scaoileadh trí céim tar éis é a fhuascailt le fuinneamh cinéiteach, mar atá léirithe sa FIG. 4.

FIG. 4 phrionsabal oibre de chaidéal móilíneach tuirbín

Is fiú a rá nach ndéanann an caidéal móilíneach an próiseas a ullmhú go díreach sa phróiseas an scannán a ullmhú, mar gheall ar an bhfolús íseal (níos mó móilíní atmaisféaracha) is féidir damáiste a dhéanamh ar an lann caidéil mhóilíneach, i gcás nach féidir leis an gcaidéal móilíneach damáiste a dhéanamh ar a gcuid féin a bheith éifeachtach ó thaobh costais. Mar sin, tá sé tábhachtach cuimhneamh ar an caidéal meicniúil agus caidéil réamhchéime eile a oscailt, le méid áirithe de fholús a fháil sula ndéanfar caidéal móilíneach a oibriú.

Tomhas folúis

D'fhonn tuiscint a fháil ar an gcéim fholús (brú aeir) sa seomra taisce i bhfíor-am, is gá tomhas folúis (tomhas folúis) agus an scannán á ullmhú.

De réir phrionsabal an tomhais céime folúis, is féidir é a roinnt ina mhéadar iomlán folúis (an luach brú i spás áirithe a chinneadh go díreach) agus an méadar gaolmhar comhfhreagrach (an chéad thomhas cainníochtaí fisiceacha eile a bhaineann leis an mbrú, tar éis é a chomhshó chun an luach brú a fháil ). Toisc go bhfuil an tomhas ar fholús éasca a thomhas, is minic a úsáidtear é chun céim fholúsach taiscí scannáin a thomhas.

Mar a luadh thuas, tá ceanglais dhian ag an gcaidéal folúis ar an raon oibriúcháin i bhfolús, mar aon le céimeanna éagsúla folúis, is gá méadar bhfolús éagsúla a úsáid chun a thomhas.

Úsáidtear tomhasfholús Pirani go minic le haghaidh tomhas ísealfholús, is foirm feabhsaithe de thomhas teirmeachúpla i bhfolús é. FIG. Is léaráid scéimeach é 5 den phrionsabal oibre. Tá dhá shraith de filamentí sa fheadán. Nuair a bhíonn an dá ghrúpa filament energized agus téite, tá an luas díothaithe teasa ar an bhfiliméad freisin difriúil mar gheall ar an difríocht a bhaineann leis an aer déine timpeallachta. Dá bhrí sin, beidh friotaíocht an dá ghrúpa filament difriúil mar gheall ar an difríocht sa teocht, agus athróidh an sreabhadh reatha tríd an bhfiliméad dá réir sin. Mar gheall ar an brú aeir seasta ag an deireadh tagartha, níl athrú ar an teocht filíochta, ar fhriotaíocht agus ar an láthair reatha ar an alt tagartha, ionas gur féidir comparáid a dhéanamh ar an gcéim fholúsach sa chavity atá le tomhas.

FIG. 5 léaráid scéimeach de phrionsabal oibre tomhais na bhfuinneog pianáin

Glacann réimse tomhais ardfholús méadar i bhfolús ianaithe, a chaithfear a úsáid mar aon le pirani agus méadar ísealfholús eile. Is é an tomhas i bhfolús ianaithe ná trí leictreoidí den chuid is mó: catóide (filament), anóid agus bailitheoir ian. Taispeántar a phrionsabal oibre i bhfigiúr 6. Taispeánann leictreonaigh a d'eisigh an chaidóid te leis an ngreille, déanann siad coimilt le móilíní an gháis agus a ionize ina gcosán. Nuair a thagann leictreoin chun dlús a chur agus a dhíghleathadh, déanfar iad a ghlaoch ar deireadh thiar trí scriosadh cuaille. I bpróiseas an ascalaithe cómhalartú leictreonaigh, déanfar ionasúnaithe leanúnach ar mhóilíní gáis, agus eitilt ions gáis le cuaillí bailiúcháin ian chun foirm reatha lúb a fhoirmiú. I gcás cineál gáis reatha agus seasta astaíochtaí catóide seasta, ní bheidh an déine atá ann faoi láthair ag brath ach amháin ar bhrú an gháis ianaithe, agus is féidir an céim fholúsach sa seomra taisce a thiontú leis an déine atá ann faoi láthair.

FIG. 6 léaráid scéimeach de phrionsabal oibre um thomhas uilíoch i bhfolús

Tríd an t-alt seo a thabhairt isteach, creidimid go bhfuil an tuiscint is bunúsaí againn maidir leis an sainmhíniú ar fholús, ar chomhshó na n-aonad éagsúla, agus ar fholús a fháil agus a thomhas.