Déantar athbhreithniú ar sprioc an tíotáiniam sputtering maighnéadach a athbhreithniú

Forbairt sputtering maighnéadacha Déantar athbhreithniú ar sprioc tíotáiniam

IKS PVD, monarú meaisín sciath PVD bhfolús, déan teagmháil linn anois, iks.pvd @ foxmail.com

Mar ábhar tábhachtach scannán tanaí feidhmiúil i réimse na faisnéise leictreonacha, is é an t-éileamh tapa a bhíonn ar tíotáiniam íonachta le forbairt tapa IC na Síne, taispeáint eitleáin, fuinneamh na gréine agus tionscail eile. Tá teicneolaíocht sputtering Magnetron (PVD) ar cheann de na príomhtheicneolaíochtaí chun ábhair scannáin tanaí a ullmhú, agus is é an spriocdhírigh sputtering tíotáiniam ard-íonachta an t-ábhar is inbhainte i dteicneolaíocht sputtering magnetron, a bhfuil ionchas leathan iarratas margaidh aige. Tá ceanglais dhian, ábhar ardteicniúil ag ábhar spriocdhéanta titanium mar ábhar sciath ardluacha, i ngnéithe den sórt sin mar íonacht cheimiceach, feidhmíocht eagraíochtúil, tá an deacracht próiseála mór, thosaigh na fiontair déantúsaíochta spriocdhírithe inár dtír sách déanach i réimse an ard -géad déantúsaíocht spriocdhírigh, réasúnta siar i dtéarmaí íonachta bunúsach amhábhar, teicnící ullmhúcháin cosúil le sprioc rialaithe, tá bearna áirithe ag croí-theicneolaíocht na teicneolaíochta múnlaithe i agus thar lear. Ag díriú ar na hiarratais ar ardchláir anuas, tá forbairt spriocdhírithe sputtering tíotáiniam ardfheidhmíochta ina bheart tábhachtach chun taighde agus forbairt neamhspleách na n-ábhar lárnacha i dtionscal déantúsaíochta faisnéise leictreonacha a bhaint amach agus an tionscal tíotáiniam a chlaochlú agus a uasghrádú ar ardchaighdeán .

Riachtanais feidhmíochta agus feidhmíochta sprioc tíotáiniam

Úsáidtear ábhar spriocdhírithe Magnetron Tíre go príomha i dtáirgí leictreonaic agus faisnéise, mar shampla ciorcad comhtháite, scáileán taispeáint eitleáin agus réimse sciath maisiú den tionscal gluaisteán maisiúcháin tí, cosúil le sciath maisiú gloine agus sciath maisiú molta. Tá riachtanais an spriocdhírithe i dtionscail éagsúla an-difriúil freisin, go príomha lena n-áirítear: íonacht, microstruchtúr, feidhmíocht táthú, cruinneas tríthoiseach agus roinnt gnéithe, is iad seo a leanas na ceanglais innéacsacha sonracha :

1) Íomhá: ciorcad neamhtháthaithe: 99.9%; Ciorcad comhtháite do: 99.995%, 99.99%.

2) Microstruchtúr: ciorcad neamhchomhshuite: meán gráin níos lú ná 100 miocrón; Ciorcad comhtháite: is é an meán-ghrá níos lú ná 30 micrón, is é an gráin ultrafine meán níos lú ná 10 miocrón

3) Feidhmíocht táthú: ciorcad neamhtháthaithe: prásáil, monaiméar; Ciorcad comhtháite le haghaidh: monaiméir, bratáil, táthú trasna

4) Cruinneas toisí: do chiorcaid neamhtháthaithe: 0.1mm; Do chiorcaid neamhtháthaithe: 0.01mm.

1.1 Ábhar spriocdhírithe do chiorcad comhtháite

Is ísle ná 99.995% agus níos mó ná íonacht ábhar spriocdhírithe ciorcad comhtháite Ti, agus braitheann sé go príomha ar allmhairí faoi láthair. In 2013, d'éirigh le tionscal ciorcaid chomhtháite na Síne ioncam díolacháin de 250.8 billiún yuan agus méid iompórtála de 231.3 billiún dollar dúinn, agus an t-iompórtáil is mó de chuid na Síne ag an gcéad uair. I 2014, b'ionann ioncam díolacháin an tionscail chuaird chomhtháite 267.2 billiún yuan, agus tháinig an méid iompórtála fós 217.6 billiún dollar dúinn. Tá sciar mór sa mhargadh domhanda spriocdhírigh ar an ábhar sprioc do chuaird comhtháite.

Spriocdhírithe Tí: tá Tí ard-íonachta a tháirgeadh dírithe go príomha sna Stáit Aontaithe, sa tSeapáin agus i dtíortha eile, mar shampla Honeywell na Stát Aontaithe, toho an tionscail tíotáiniam tSeapáin agus Osaka sa tSeapáin. Ó 2010 i leith, sheol institiúid taighde miotail neamhfheiriúil Beijing, tionscal tíotáiniam zunyi agus ningbo chuangrun táirgí Tí ard-íonachta baile, ach tá gá le feabhas a chur ar chobhsaíocht na dtáirgí.

T: tá struchtúr an spáis brabúis i bhforbairt ábhar spriocdhírigh mór, is é an príomhúsáid atá le meaisín sputtering maighnéadach 100 ~ 150 mm, agus cumhacht beag, scannán sputtering níos déine, is é an méid sliseanna níos mó, is féidir le feidhmíocht aonair spriocdhírigh an ceanglas úsáide a shásamh den mheaisín ag an am sin, an ciorcad comhtháite le hábhar spriocdhírithe Ti ó monomer 100 ~ 150 mm agus meascán de sprioc, mar shampla an cineál tipiciúil 3180, cineál spriocdhírithe 3290, etc. An dara céim, de réir fhorbairt dlí Moore, sliseanna, líneleithead caol, teilgcheárta úsáidtear meaisín sputtering 150 ~ 200 mm, d'fhonn an spás brabúis a fheabhsú, meaisín an mhéadaithe cumhachta sputtering, éilíonn sé seo go mbeidh méid an méadú méadaithe, agus an seoltacht teirmeach ard, praghsanna íseal agus neart áirithe, táthar ag tosaíocht do tháirgí spriocdhírithe Ti seo trí thástáil trasfhoirmeach cóimhiotal alúmanam agus bratáil dhá struchtúr cóimhiotail copair, mar shampla an TN tipiciúil, TTN cineál, cineál-ábhar Endura5500, etc. Sa tríú céim, le forbairt ciorcad comhtháite, cuirtear leithead líne sliseanna níos cúinge. Ag an am seo, úsáideann monarchana bhunaithe sliseanna 200 meaisíní sputtering 200 ~ 300 go príomha. D'fhonn an spás brabúis a mhéadú tuilleadh, cuirtear méadú ar chumhacht na meaisíní, rud a éilíonn méid na n-ábhar sprioc a mhéadú, agus seoltacht teirmeach ard agus déine déine ann. Sa tréimhse seo, tá an t-aidhm Ti a táthaithe go príomha le pláta ar ais cóimhiotal copair, mar shampla an sprioc cineál SIP príomhshrutha.

Tírdhíríonn sé gnéithe próiseála agus déantúsaíochta ábhar: margadh luath sa bhaile agus thar lear, ag na Stáit Aontaithe, an tSeapáin agus ábhar spriocdhírithe monaplacht mór monaróirí, tar éis 2000 bliain de thionscal déantúsaíochta baile de réir a chéile sa spriocmhargadh, sprioc íseal chun deireadh a chur le hionnaíocht ard Le próiseáil amhábhar Tí, le forbairtí tapa fiontar déantúsaíochta spriocdhírithe tí Tí le blianta beaga anuas, leathnaíodh an sciar den mhargadh de réir a chéile go dtí an Téaváin, an Eoraip agus na Stáit Aontaithe agus margaí eile, cosúil le dhá sprioc fócas fiontar leictreonach YouYan milliún ór agus Jiang Feng déantúsaíocht ábhair le blianta fada. Tá fiontair déantúsaíochta spriocdhíola intíre ag forbairt spriocdhírithe i gcomhpháirt le monaróirí meaisíní sputtering intíre maighnéadacha chun forbairt thionscal sputtering ciorcaid comhtháite comhtháite tí a chur chun cinn.

1.2 Ábhar spriocdhírithe Tí le haghaidh taispeáint eitleáin

I measc taispeántais painéil mhaol tá: taispeáint criostail leachtach (LCD), taispeáint plasma (PDP), taispeáint luminescence réimse (el), taispeáint astuithe allamuigh (FED).

Faoi láthair, is é margadh an LCD an ceann is mó sa mhargadh taispeána painéal cothrom le sciar de níos mó ná 90%. Meastar gurb é LCD an t-ionchas is mó a bhaineann le feiste taispeántais painéal comhréidh, leathnaíonn sé go mór réimse monatóireachta an iarratais, monatóireacht ar an ríomhaire nótaí, monatóireacht a dhéanamh ar ríomhairí deisce, teilifís LCD ard-sainmhínithe agus cumarsáid soghluaiste, gach cineál táirgí nua LCD ag bualadh na nósanna maireachtála daoine, agus forbairt tapa tionscal an eolais ar fud an domhain a chur chun cinn. Is cineál teicneolaíochta é Tft-lcd teicneolaíocht a chomhcheanglaíonn teicneolaíocht micreictreonaic agus teicneolaíocht criostail leachtach go sciliúil. Faoi láthair, tá sé mar theicneolaíocht príomhshrutha taispeáint eitleáin, atá roinnte ina al-mo, al-ti, cu-mo agus próisis eile.

Tá an scannán tanaí de thaispeántas plánaí déanta den chuid is mó ag sputtering. Is iad Al, Cu, Ti, Mo agus spriocanna eile na príomh-spriocanna miotail le haghaidh taispeáint eitleáin faoi láthair. Tá níos ísle ná 99.9% ar íonacht Tíreanna do thaispeántán eitleáin. Is féidir an t-amhábhar seo a dhéanamh sa tSín. Líne giniúna Tft-lcd6 Úsáidtear ábhar spriocáilte flat Ti le mór-ábhar pláta ar ais cóimhiotail cóimhiotal copar, agus déantar panda CLP a chur i bhfeidhm sa struchtúr.

Faoi láthair, táirgeann an líne ghlúin is airde ar domhan atá neamhspleách ag an tSín - líne ghiniúna hefei 10.5 den chuid is mó taispeántas criostail leachtach sainmhínithe mórmhéide (uhd), le cumas deartha de 90,000 foshraithe gloine in aghaidh na míosa. Is é méid na bhfoshraitheanna gloine 3,370x2,940mm, le hinfheistíocht iomlán de 40 billiún yuan. Cuirfear é a tháirgeadh sa dara ráithe de 2018.

2. Magnetron sputtering teicneolaíocht spriocdhírithe T Ti

Is féidir teicneolaíocht ullmhúcháin amhábhar Tí agus modhanna ábhair spriocdhírithe de réir an phróisis táirgthe a roinnt (dá ngairtear billet EB ina dhiaidh seo) agus billet leá leictreach leictreach leictreach ó fhréithiú foirnéise stua leictreachais (dá ngairtear billet anseo ina dhiaidh seo) dhá cineál mór, i bpróiseas ullmhaithe spriocdhírithe, chomh maith leis an íonacht, dlús, méid gráin agus treoshuíomh criostail ábhartha a rialú go docht, coinníoll an phróisis cóireála teasa, beidh gá le rialú docht a dhéanamh ar an bpróiseas foirmithe ina dhiaidh sin cáilíocht an spriocdhírigh.

Maidir le hamhábhair Tí ard-íonachta, déantar na heilimintí a bhfuil pointe leá ard i maitrís T a bhaint astu de ghnáth leictrealú leá, agus ansin iad a íonú níos mó trí leá a dhéanamh le leictreon folúis. Is éard atá ag smelú leam leictreon folamh ná buamáil léas leictreon fuinnimh a úsáid ar an dromchla miotail agus ansin méadóidh an teocht de réir a chéile go dtí go leagann an miotal. Is iad na heilimintí a bhfuil brú ard gaile an chéad cheann acu a mhaolú, agus beidh na heilimintí le brú íseal gaile fós sa leá. Is é an difríocht idir na heilimintí neamhíonachta agus brú gaile an mhaitrís, is é an éifeacht íonúcháin is fearr. Mar sin féin, is é an leas a bhaint as scagadh i bhfolús tar éis leá ná gur féidir na heilimintí neamhtheachtaithe i maitrís T a bhaint as gan eisíontais eile a thabhairt isteach. Dá bhrí sin, nuair a dhéantar 99% de thíleictilítí 99.99% a thomhaltú trí bholadh bhréagáin leictreonacha i dtimpeallacht ardfholús (10-4 thuas), eilimintí eisíontais (Fe, Co, Cu) le brú gaile sáithithe níos airde ná brú gaile sáithithe eilimint Ti féin ( Tabharfar tosaíocht do thonn, Fe, Co) san amhábhar, ionas go laghdófar ábhar na n-eisíontais sa mhaitrís agus chun críche an íonú a bhaint amach. Is féidir an t-ardteicneolaíocht miotail íonachta a bhfuil 99.995 + íonacht a fháil tríd an dá mhodh a chomhcheangal.

I gcás na n-amhábhar le íonacht 99.9% Tí, úsáidtear grád 0 spúinse Ti le boladh le foirnéise stua leictreach inchaite, agus ansin déantar an fhuinneog a oscailt trí fhás bán a chruthú. Tá amhábhar miotail Tí d'ullmhú an dá mhodhanna tríd an rialú dífhoirmithe meicniúil teirmeach, go bhfuil an microstruchtúr iomlán dromchla sputtering comhsheasmhach, ansin meaisínithe, ceangailteach, glanacháin agus próiseála pacáistithe chun ciorcad comhtháite a ullmhú le Tíotáistiú maighnéadach, ábhar sprioc 300 mm Úsáidtear meaisín d'ábhar spriocdhírithe ard-Tí, sula n-úsáidtear an dromchla spriocdhírithe sula ndéantar pacáil agus an sputtering a shuiteáiltear ar an meaisín sputtering a úsáid chun an sprioc ama a dhíriú ar an sprioc (Burn-ingtime).

Tá teicneolaíocht choimpléascach agus costas réasúnta ard ag baint le modh ullmhú ábhar spriocdhírithe ciorcad comhtháite .

3. Riachtanais theicniúla d'ábhair spriocdhírithe Ti

D'fhonn cáilíocht an scannáin a thaisceadh a áirithiú, caithfear rialú docht a bheith ar chaighdeán na n-ábhar sprioc. Tar éis a lán cleachtais, cuimsíonn na príomhfhachtóirí a mbíonn tionchar acu ar cháilíocht ábhar sprioc Ti, íonacht, meánmhéid gráin, treoshuíomh criostail agus aonfhoirmeacht struchtúr, cruth geoiméadrach agus méid, etc.

3.1 Íomhá

Tá tionchar mór ag íonacht ábhar sprioc Tíre ar airíonna scannáin sputtering.

Níos airde ná íonacht ábhar spriocdhírithe Ti, na cáithníní eilimintí neamhleachtaithe i scannán Sputtering Ti, rud a fhágann gur fearr airíonna scannáin, lena n-áirítear friotaíocht creimeadh, airíonna leictreacha agus optúla. Mar sin féin, in iarratais phraiticiúla, tá na ceanglais íonachta a bhaineann le hábhair sprioc Ti d'iarratais éagsúla difriúil. Mar shampla, níl an sciath maisiú ginearálta le ceanglais íonachta ábhar spriocdhírithe Tí ag teastáil, agus tá comhlacht taispeána ciorcaid, taispeántais agus réimsí eile le riachtanais íonachta Tírdhírithe i bhfad níos airde. Ós rud é gurb é an foinse catóide i sputtering, is iad na heilimintí neamhionachtais agus na nithe seo a leanas ná na foinsí truaillithe is mó. Bainfear bunús na n-eisiamh stomatal sa phróiseas de bhrath neamhfhabhtáin ingne. Tabharfaidh na hintrithe stomatal neamhshuíontaithe feiniméan scaoilte tipiciúil (Arcing) le linn sputtering, agus ansin déanfaidh sé difear do chaighdeán an scannáin tanaí. Mar sin féin, ní féidir ábhar eilimintí neamhláithreachta a léiriú ach amháin i dtorthaí anailíse eilimint iomláin. Is í an t-ábhar neamhdhíobhálach iomlán is ísle ná an íonacht d'ábhar spriocdhírithe Ti. Tá tagairtí don chuideachta déantúsaíochta ábhar spriocdhírigh Tí tí agus eachtrannacha i dtáirgí déantúsaíochta ábhar spriocdhírigh tí agus eachtrannacha luath, i ndiaidh caighdeán 2013 arna eisiúint ag an scannán leictreonach YS / T893-2013 le spriocdhírithe sputtering tíotáiniam ard íonachta, rialacháin trí ábhar sprioc T purity ábhar neamhdhíobhálach amháin agus éilimhí éagsúla ábhar éagothroime, tá an caighdeán seo de réir a chéile a chaighdeánú ar íonacht T ghnóthach d'éilimh an spriocmhargaidh.

3.2 meánmhéid gráin

Go ginearálta, is éard atá i gceist le hábhar sprioc Ti ná struchtúr polycrystalline, le méid gráin ó micron go milliméadar. Tá ráta sputtering de ghráin gráin bheag-mhéid níos tapúla ná an sprioc gráin garbh, agus tá an dáileadh tiús de scannán sputtering taisithe níos comhionann le spriocanna le difríocht bheag i méid gráin ar dhromchla sputtering. Faightear, má rialaíonn méid gráin an sprioc tíotáiniam faoi bhun 100 micrón, agus coimeádtar an t-athrú ar mhéid gráin laistigh de 20%, is féidir cáilíocht na scannán sputtering a fheabhsú go mór. De ghnáth ní mór meánmhéideanna gráin Ti a úsáidfear i gciorcaid chomhtháite a bheith níos lú ná 30 micrón, agus an meánmhéideanna gráin níos lú ná 10 miocrón.

3.3 treoshuíomh criostalaithe

Is struchtúr heicseagánach dlúth-eagraithe é Metal Ti. Ós rud é go bhfuil sé éasca do atmaicí sprioc Tíre a bheith spraeáilte go fabhrach feadh treo na n-adamh heicseagánach is dlúithe a eagraítear le linn sputtering, is féidir an ráta sputtering a mhéadú trí struchtúr criostail an ábhair sprioc a athrú chun an ráta sputtering is airde a bhaint amach. Faoi láthair, tá níos mó ná 60% ag teaghlach criostail Thír dromchla sputtering {1013} de na ciorcaid is mó atá comhtháite, tá treoshuíomh gráin na n-ábhar a tháirgtear ag monaróirí éagsúla beagán difriúil, agus tá tionchar mór ag treo criostail thír Ti freisin ar chomhionannas tiús an scannáin sputtering. Tá an méid scannáin atá ag sciath taispeáint eitleáin agus maisiú réasúnta tiubh, agus mar sin tá an ceanglas treorach gráin d'ábhar sprioc Ti i réasúnta íseal.

3.4 comhionannas struchtúir

Tá aonfhoirmeacht struchtúr mar cheann de na hinnéacsanna tábhachtacha chun cáilíocht na n-ábhar sprioc a mheas. I gcás sprioc Tíre, ní hamháin go bhfuil gá leis an eitleán sputtering de sprioc-ábhar, ach freisin an comhdhéanamh treo, treoshuíomh gráin agus comhionannas meánmhéid gráin ar an eitleán sputtering freisin. Ar an mbealach seo is féidir scannán Ti amháin le tiús aonfhoirmeach, cáilíocht iontaofa agus méid gráin comhsheasmhach a fháil ag an am céanna laistigh den saol seirbhíse d'ábhar sprioc Ti.

3.5 cruth agus méid geoiméadrach

Déantar é a léiriú go príomha i gceannas agus ar cháilíocht meaisínithe, amhail méid meaisínithe, cothromas dromchla, garbh, etc. Má tá diall uillinn an poll gléasta ró-mhór, ní féidir é a shuiteáil i gceart; Beidh tionchar ag tiús bheaga ar shaol seirbhíse an sprioc; Tá an méid dromchla séalaithe agus sreabhadh rónta ró-ghharbh, rud a fhágfaidh fadhbanna folúis tar éis don spriocdhírse a shuiteáil agus go dtiocfaidh sceitheadh uisce mar thoradh air. Is féidir leis an spriocdhíriú a dhéanamh ar dhromchla an chóireáil athshlánú dromchla a dhéanamh go bhfuil dromchla an ábhair sprice lán leideanna dronnacha saibhir, faoi éifeacht éifeacht na tipiciúil, go bhfeabhsófar feabhas mór ar fhéidearthacht na leideanna dronnach seo, rud a fhágann go gcuirfí an t-urscaoileadh meáin síos orthu, ach go mbeidh cáilíocht ró-mhór dronnach agus tá an chobhsaíocht díobhálach.

3.6 nascáil táthú

Faoi láthair tá níos mó páipéar taighde táthúcháin idirleathadh Ti / Al níos mó ná Tí / Al, de ghnáth le haghaidh pointe leá ard tíotáiniam agus táthú trasna de phointe íseal leá le hábhar alúmanaim, go príomha bunaithe ar bhrú aon-bhealach nó dhá bhóthar nó teicneolaíocht nasctha idirleathadh idirlíne i bhfola Glacadh le teicneolaíocht brúigh isostatach chun tíotáiniam, ábhair miotail alúmanam a bhain le brú ard i mbascadh teilifíse díreach teocht íseal a bhaint amach. Tá go leor iarratais ag déantúsaíocht tí, Cu / Cu agus Cu cóimhiotail ach beagán páipéar taighde.

4. Ionchais spriocdhírithe Ti

Tá buntáistí déantúsaíochta sprioc domhanda ag bailiú go tapa san Áise. Le forbairt tapa tionscail intíre ardteicneolaíochta cosúil le ciorcad comhtháite leathsheoltóra, taispeáint eitleáin agus sciath maisiúla, tá margadh spriocdhírithe na Síne ag leathnú ó lá go lá, agus tá sé de réir a chéile ar cheann de na réimsí is mó ar an éileamh atá ag an domhan le haghaidh spriocdhírithe scannáin tanaí, a Soláthraíonn sé deiseanna agus dúshláin chun tionscal déantúsaíochta spriocdhírigh na Síne a fhorbairt.

Le blianta beaga anuas, tá teas mór ag infheistíocht thionscal comhtháite an chiorcaid i gcistí tionsclaíocha ciorcad comhtháite, tionscadail mhóra eolaíochta agus teicneolaíochta (01, 02, 03) agus cistí áitiúla, de réir staitisticí, ach amháin 2015, 2016 dhá blianta, tá an baile tar éis a dhearbhú á dtógáil nó a phleanáil chun an líne táirgthe sclábhaithe a thosú suas le 44, 300 acu alt mm18, alt 200 mm20, 6 150 mm. Mar thoradh ar an éileamh ollmhór ar an margadh, tá sé de cheangal ag an tionscal spriocdhírithe aird agus aird na n-institiúidí taighde eolaíochta agus na bhfiontair ábhartha sa tSín a mhealladh, agus d'acmhainní daonna, ábhartha agus airgeadais a infheistiú i dtaighde agus i bhforbairt agus i dtáirgeadh splancscáileán rialaithe maighnéadach sprioc.

Cuireadh ábhar spriocdhírithe T, mar bhrainse uathúil de réimse na n-ábhar sprioc, i bhfeidhm i bpróiseas leathsheoltóra Al agus ar phróiseas Cu, agus d'úsáid sé go forleathan i dtionscail LCD agus ar thionscal sciath maisiúil. Faoi láthair, dírítear ar tháirgí T spriocdhírithe T agus boinn táirgthe go príomha i mBéising, Guangdong, Jiangsu, Zhejiang, Gansu agus áiteanna eile. Mar gheall ar íonacht amhábhar sprioc, teorannú trealaimh táirgthe agus teicneolaíochta taighde agus forbartha, tá tionscal déantúsaíochta spriocdhírithe Ti inár dtír fós ag céim luath, baineann fiontar táirgeachta ábhar spriocdhírithe tí T cáilíocht agus bunúsach tá an tairseach teicniúil íseal, an modh próiseála traidisiúnta, ar phraghas chun an leibhéal íseal de tháirgeoirí spriocdhírithe sputtering a fháil, nó monarcha OEM brabús teoranta. Níl scála táirgeadh, éagsúlacht, teicneolaíocht beag chomh cobhsaí, go dtí seo, an tSín (lena n-áirítear Taiwan), ach cúpla cuideachta atá speisialaithe i dtáirgeadh ábhar spriocdhírithe, mar shampla YouYan milliún gold, Jiang Feng electronic enterprise, táirgeadh ábhar sprioc T ní féidir le mórán mór riachtanais forbartha an mhargaidh a shásamh, ní mór go mbeadh mórchuid d'ábhar sprioc Tí fós in ann a allmhairiú ó thar lear, tá amhábhar d'ábhar spriocdhírigh miotail ard íonachta Tosaithe ag dul chun cinn, ach tá an chuid is mó fós ag brath ar allmhairí.

Tá cuspóir láidir ag baint le hábhar spriocdhírithe Tí, mar chineál ábhar le cuspóir speisialta, agus cúlra soiléir i bhfeidhm. Teicneolaíocht íonú metallurgical scartha ó theicneolaíocht bhreise miotail Tí, EB folamh, teicneolaíocht bhrath neamhfhabhtaithe tinneas Tí, teicneolaíocht anailíse neamhionachtais Tí ard-íonachta, teicneolaíocht ullmhúcháin sprioc Ti, teicneolaíocht sputtering ullmhú meaisín, teicneolaíocht sputtering agus teicneolaíocht tástála feidhmíochta scannán tanaí ag déanamh staidéir ar T níl aon tábhacht ag an sprioc féin. Baineann slabhra tionsclaíoch iomlán as amhábhar anuas le monaróirí trealaimh lár-sreang agus déantúsóirí ábhair spriocdhírigh, agus an t-iarratas sliotán sciath sciabhrach atá ag srutha i dtreo na huaire i gceist le feabhas a chur ar fheidhmiú iarratais Ti agus a fheabhsú iarratais ina dhiaidh sin. Ní amháin go bhfuil an gaol idir airíonna spriocdhírithe Ti agus airíonna scannáin sputtering a chabhródh le hairíonna scannáin a fháil a chomhlíonann riachtanais iarratais, ach freisin le húsáid níos fearr a bhaint as spriocdhírithe, ag tabhairt spraoi iomlán dá ról agus forbairt tionscail spriocdhírithe a chur chun cinn.

Faoi láthair tá tionscal de chuid an IC i bpríomhchéim na Síne, tá na deiseanna agus na dúshláin fós ann, más rud é nach féidir leat an deis a bhaint as díriú ar ábhar déantúsaíochta, déantúsaíochta scannán agus trealamh tástála, beidh an bhearna idir ár dtír agus an leibhéal idirnáisiúnta níos mó agus níos mó , ní hamháin in ann an slí bheatha choigríche sa mhargadh baile a aisghabháil, ní féidir níos mó a bheith rannpháirteach sa chomórtas margaidh idirnáisiúnta.