Éifeacht As Teocht na Foshraithe ar Ráta Tosaíochta Scannáin Thánaithe ZAO

Taispeánann Fíor.4 go bhfuil an ráta taiscí neamh-íogair d'athruithe ar theocht an tsubstráit. Is iad na paraiméadair phróisis ná: brú imoibriúcháin ná cóimheas 0.7 Pa, sreabhadh de ghás O2 agus tá 3 gás Ar, is é an chumhacht sputtering 140 W. Leis an méadú ar theocht an tsubstráit, comhéifeacht greamaitheacht adamh céim gáis ar dhromchla an tsubstráit méaduithe, agus ba cheart an ráta taiscí a laghdú. Mar sin féin, níl an éifeacht sa turgnamh seo mór. Is dócha gur toisc go léiríonn an ionstraim nach gcomhlíonann an teocht an teocht iarbhír nó de bharr damáiste eitneacha do dhromchla an tsubstráit ag na cáithníní sputtered.

Pléitear an dá phointe ag 170 ° C agus 230 ° C ar chuar Fíor 4, agus tá siad mar phlota mar Fíor 4.1, tá na paraiméadair phróisis eile mar an gcéanna. Is féidir a fheiceáil go bhfuil an ráta taiscí gan athrú ag ráta sreabhadh níos ísle, agus go bhfuil na hathruithe bruscair sa ráta taisce beagnach mar an gcéanna ag an dá phointe, ach ag ráta sreabhadh níos airde, déantar an ráta taiscéireachta níos mó mar theocht an tsubstráit méaduithe. Dá bhrí sin, ní féidir le teocht ard moill a chur ar an bhfeiniméan atá ag díriú ar an nimhiú, ach is féidir leis an ráta athraithe ar an ráta taiscéalaíochta a laghdú. Is féidir é a fheiceáil ó Fíor 4.1 go bhfuil athrú ar pharaiméadar brú imoibrithe, cumhacht sputtering nó teocht taisce, tá ráta taisce an scannáin comhsheasmhach le treocht an ráta sreafa O2, déanfar an t-aistriú ón modh miotail chun modh ocsaíde araon de bharr nimhiú sprioc. Mar sin, is féidir an brú gáis, an chumhacht agus an teocht a mhéadú go cuí chun ráta taisce níos airde a fháil chun an feiniméan sprioc nimhiú a mhaolú.

Fíor.4 Gaol idir teocht an tsubstráit agus an ráta taiscí

Fíor 4.1 An gaol idir ráta sreabhadh gáis O2 agus ráta taiscí ag teochtaí éagsúla an tsubstráit