Fachtóirí Cúis Scannán Neamhghabhálach Thin De réir Magnetron Sputtering Meaisín Clúdaithe Fholúis

Áirítear ar na fachtóirí a bhaineann le ciseal scannán míchothrom trí mheaisín sciathán sputtering le haghaidh maighnéadaigh agus trí ghné: staid fholúsach, réimse maighnéadach agus gás argón.

Is é prionsabal oibre an mheaisín sciath imfholúsach maighnéadach ná faoi na sonraí folúis, leictreon an réimse maighnéadach orthogonal chun bombáil a dhéanamh ar an argón agus an ian argáin a dhéanamh, agus ansin an spriocdhíriú a chosc, ionas gur féidir an sprioc ian a thaisceadh ar an dromchla an phíosa oibre chun scannán tanaí a dhéanamh.

Caithfidh an córas bhfolúsach rialú a dhéanamh ar an gcóras caidéalaithe, agus ba cheart gach vent a bheith gníomhach agus comhsheasmhach ag an am céanna. Mura bhfuil an pumpáil aonfhoirmeach, beidh an brú taobh istigh den seomra folúis míchothrom. Tá tionchar áirithe ag an mbrú ar ghluaiseacht ianna. Ina theannta sin, ní mór an t-am caidéalaithe a rialú. Ní bheidh go leor folamh ann ró-ghearr, ach tá sé ró-fhada agus dramhaíl acmhainní.

Oibríonn an réimse maighnéadach go huathoibríoch, ach tá sé dodhéanta an déine réimse maighnéadach a dhéanamh 100% éide. Sa chás go bhfuil an réimse maighnéadach ginearálta láidir, tá tiús an scannáin mór, ach tá sé beag ar a mhalairt, mar sin beidh sé ina chúis le neamhréireacht tiús an scannáin. Mar sin féin, sa phróiseas táirgthe, áfach, níl aon chothroime an scannáin mar gheall ar neamh-aonfhoirmeacht an réimse maighnéadach.

Bíonn tionchar ar chomhionannas gáis Argón freisin ar aonfhoirmeacht scannán, agus tá an prionsabal cosúil leis an bhfolús. Ós rud é go dtiocfaidh argón isteach sa seomra folúis, athróidh an brú taobh istigh den seomra. Is féidir leis an bhrú aonfhoirmeach rialú a dhéanamh ar aonfhoirmeacht thiús scannáin an mheaisín sciath sputtering maighnéadach.

Le níos mó ná deich mbliana, tá IKS ag speisialú i ngach cineál déantúsaíochta trealamh iarratais sciathfholúsacha, atá tiomanta do thaighde agus d'fhorbairt agus a tháirgeadh meaisín sciath bhfolús, agus an teicneolaíocht is déanaí i gcónaí ag freastal ar riachtanais an mhargaidh ar threalamh sciath bhfolús, ag soláthar custaiméara atá saincheaptha réitigh agus trealamh teicneolaíochta.