Réamhrá an Mhodhanna Oibriúcháin le haghaidh Meaisín Clúdaigh Fholúis

Is ionstraim sciath é an meaisín sciath i bhfolús is gá a oibriú ar fholús níos airde. Tá sé roinnte ina dhá chineál ghalú agus sputtering.

Is éard atá i bpróiseas sciathán galaithe go ginearálta an spriocdhírithe téimh, rud a chiallaíonn go ndéanann comhpháirteanna dromchla an ábhair sprioc a bheith vaporized ag foirm adamhach nó ian, agus a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit, agus an scannán tanaí á gcur i bhfeidhm tríd an bpróiseas foirmiú scannáin.

Is féidir tuiscint spraeála a thuiscint go simplí mar úsáid a bhaint as leictreon nó léasair ardfhuinnimh chun an sprioc a bhuamáil agus comhpháirteanna an dromchla den sprioc a dhéanamh i bhfoirm atmaí nó ianna, agus go dtaiscfear iad ar dhromchla an tsubstráit sa deireadh. scannán tanaí tríd an bpróiseas foirmiú scannáin.

Céimeanna a úsáid:

1. Modh oibriúcháin na comh-aireachta rialaithe leictreomeicniúla le haghaidh sciath bhfolús

(1) Oscail an caidéal uisce agus an fhoinse aer.

(2) Cas ar an bpríomhchumhacht.

(3) Oscail soláthar cumhachta an chaidéil ghabhála agus an méadar bhfolús, seasamh seasamh V1 an fholús, fanacht ar a luach níos lú ná 10, agus ansin cuir isteach an chéad oibríocht eile. Is dócha go gcaithfidh cúig nóiméad é.

(4) Cas ar an gcaidéal meicniúil, déan na caidéil réamh-chaidéil, an soláthar cumhachta caidéil mhóilíneach turbo a oscailt agus an caidéal móilíneach a thosú. Athraítear an t-athrú lascfholús le seasamh V2. Tar éis an chéim fholús a phumpáil go dtí níos lú ná 2, stop a chur le caidéalaithe, agus tógfaidh sé 20 nóiméad.

(5) Nuair a breathnaítear ar léamh an chaidéil mhóilíneach tuirbíní 250, déantar an réamhphumpáil a dhúnadh, ansin oscailt an caidéal tacaíochta agus na comhlaí folúis ard ar aghaidh ag dul as oifig. Ach amháin tar éis an fholús sroicheann 2 × 10-3, is féidir soláthar cumhachta an gunna leictreonach a iompú.

2. Oibriú meaisín sciath bhfolús

(1) Cas ar an bpríomhchumhacht.

(2) Ag an am céanna a oscailt an soláthar cumhachta leictreonach maidir le rialú gunna I agus II: de réir an chumhacht leictreonach a rialú mé, moill lasc, agus ansin an solas moille, lampa cumhachta agus solas cosanta, solas suas. Tar éis trí nóiméad an t-éadrom mhoill agus an lampa cosanta a dhiúltú. Mura bhfuil an doras ar ais dúnta nó go bhfuil an sealaíocht sreabhach lochtach, beidh an solas cosanta i gcónaí.

(3) Oscail an brú ard, beidh ard-bhrú ag teacht níos mó ná 10KV, déan an beam a choigeartú go dtí thart ar 200mA, is é an greille sciath 20V / 100mA, filament reatha 1.2A, an swing reatha 1 ~ 1.7.

3. Seicheamh luí ar mheaisín sciath bhfolús

(1) Cuir an cháir thomhas agus an caidéil mhóilíneach amach.

(2) Nuair a léiríonn an caidéal móilíneach suas le 50, déantar an comhla folúis ard, an caidéal cúltaca agus an caidéal meicniúil a dhúnadh in ord. Is dócha go gcaithfidh 40 nóiméad é.

(3) Nuair a thaispeánann an caidéal móilíneach níos lú ná 50, déan an caidéal gabhála a dhúnadh.