Socrú Réimse Maighnéadach Sprioc Sputtering Maighnéadach

Maidir le sprioc sputtering maighnéadach, tá an cruach maighnéadach suite taobh thiar den sprioc, agus línte maighnéadacha a théann trí dhromchla an sprioc chun réimse maighnéadach a dhéanamh ar dhromchla an sprioc. Tá an réimse maighnéadach B comhthreomhar leis an spriocdhromchla agus an réimse leictreach E ingearach leis an spriocdhromchla, is éard atá i réimse sruth E × B atá comhthreomhar leis an spriocdhromchla. Tá an réimse sruth E × B ag feidhmiú ag gabháil le haghaidh leictreon, a mhéadaíonn dlús leictreoin an dromchla sprioc, go n-éireoidh sé le dóchúlacht imbhuailte leictreon le móilíní gáis neodracha, agus go n-neartaíonn sé ráta ionais an gháis sputtering, rud a mhéadaíonn an ráta sputtering . Maidir le sprioc sputtering dronuilleogach dronuilleogach tipiciúil, tá an socrú cruach maighnéadach le feiceáil i bhFíor 1 (tá polaíochtaí os coinne na stealla maighnéadacha in aice láimhe, ie NSN nó SNS).

Fig.1 Léaráid de leagan amach cruach maighnéadach agus dáileadh réimse maighnéadach

Déantar an dáileadh líne réimse maighnéadach i bhFíor 1 a ríomh trí insamhalta uimhriúil. Is féidir a fheiceáil go bhfuil an limistéar ina bhfuil líne réimse maighnéadach ar an spriocdhromchla thart go comhthreomhar leis an dromchla sprioc atá cúng. Ós rud é sa chóras sputtering magnetron, tá limistéar sputtering an spriocdhromchla dírithe go príomha sa réimse seo ina bhfuil líne réimse maighnéadach ar an spriocdhromchla timpeall comhthreomhar leis an spriocdhromchla. Éiríonn leithead na trinse eitseáilte níos cúinge mar a mhéadaíonn an doimhneacht i rith an phróisis sputtering. Taispeántar próifíl etch mar thoradh air i bhFíor.2.

Fíor.2 An eitseáil de bharr an tsocrú cruach maighnéadach is gnách

De réir ríomh an limistéir, níl ach thart ar 20% ar an gcóimheas spriocdhírithe den mhodh socraithe cruach maighnéadach thuasluaite. Is féidir a fheiceáil go ndéanann sé deacair rátaí úsáide ardteasta agus rátaí taiscí a bheith ag an socrú is gnách ar steels maighnéadacha.