Pléascadh Ión Il-Arc

Pléasadh ian il-stua Is é an galú díreach miotail ar an sprioc cathóide soladach trí urscaoileadh stua. Is éard atá i gceist leis an galú ná ábhar catóide a scaoiltear ó phointe glua stua cathóide ionas gur féidir scannán tanaí a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit.

Forbairt

Mhol DM Mattox pléadh ianfholús i 1963 agus thosaigh an turgnamh. I 1971, Chamber et al. foilsíodh leictreon teicneolaíocht ionfhabhtaithe ian beam. Sa bhliain 1972, thuairiscigh B teicneolaíocht pláthaithe imoibrithe (ARE), agus rinne sé scannáin bhreise TIN agus TIC. Sa bhliain chéanna, chuir MOLEY agus SMITH teicneolaíocht chataid chuí i bhfeidhm chun sciath. Sa 80ú haois déag, bhí an t-ardú ianna il-stua agus an t-ardán ard le hionfhilleadh i bhfolús sa tSín, agus tháinig leibhéal na hiarratais tionsclaíoch ar leibhéal na n-ian.

Prionsabal

Déantar pléascadh ian i seomra folúis trí urscaoileadh gáis nó ionsú páirteach de ghaothú, an galú nó an taiscí imoibríoch ar an tsubstráit, agus é ag déanamh buamáil ag ionsaí gáis nó le cáithnín imní, an galú nó an taisceadh imoibríoch ar an tsubstráit. Is éard atá i gceist le hiodráiliú scaoileadh glow, teicneolaíocht plasma agus galú i bhfolús, rud nach féidir ach feabhas a chur ar chaighdeán na scannán, ach freisin raon feidhme an scannáin a mhéadú. Is iad na buntáistí a bhaineann leis an scannán greamaitheacht láidir, díroghadh maith agus ábhar fairsing membrane. Mhol DM an prionsabal a bhaineann le pléascadh ian, arb é an próiseas oibre ná:

● Tá an seomra folúis caidéalaithe go dtí an chéim folúis os cionn 4 x 10 (-3) Pa, agus ansin ceangailte leis an soláthar cumhachta ardvoltais agus réigiún plasma teocht íseal a bhunú maidir le scaoileadh gás ísealbhrú idir an fhoinse galú agus an tsubstráit .

● Tá an leictreoid tsubstráit ceangailte le voltas arddhíobhálach 5KV DC chun catóid scaoileadh glow a chruthú.

● Luann an réimse leictreachais i dtréimh dhorcha an chaidóid na hiain ionsaí gáis a tháirgtear sa chrios scaoilte gléibhe agus déantar dromchla an tsubstráit a ghlanadh agus a ghlanadh.

● Sa phróiseas sciath, déanann an teas an t-ábhar a ghlaochlú, tugann na adamh isteach sa limistéar plasma, a chuireann isteach ar na hiain agus na leictreonaigh gáis táimhe agus déantar cuid den ionization a tháirgeadh.

● Bhuaigh na hiain ianaithe agus na hiain ianaithe bomharc ar an dromchla sciath le fuinneamh níos airde, rud a chuir feabhas ar chaighdeán scannáin.

Tá éagsúlacht ianaithe il-stua éagsúil ó na plating ian ginearálta, atá ag baint úsáide as urscaoileadh stua in ionad an taiscí urscaoilte glow traidisiúnta ian. I mbeagán focal, is é prionsabal na hiodrálacha il-stua ná an sprioc catóide a úsáid mar an foinse ghalúcháin chun an spriocdhír a mhaolú trí scaoileadh stua idir an sprioc agus an bhlaosc anóid, ionas go mbeidh an plasma déanta sa spás, agus go gcuirtear foshraitheanna.

Buntáiste

● Déantar an plasma a ghintear go díreach ón chaidóid gan linn snámha leáite. Is féidir an sprioc catóide a shocrú in aon treo de réir cruth an obair, ionas go mbeidh an daingneán simplithe go mór.

● Tá fuinneamh an cháithnín teagmhais agus dlús an scannáin ard, tá an neart agus an marthanacht maith, agus an neart greamaitheachta den scoth.

● Ard-ráta ionise, go ginearálta suas le 60% go 80%.

● Ó thaobh an iarratais, tá an ráta taiscí go tapa.

Míbhuntáiste

● Ag ardchumhacht, is gá fiuchphointe a tháirgeadh, a chuireann isteach ar chaighdeán na sciath.