Cuid den Trealamh Cumhdaigh

Tá an trealamh sciath nua-aimseartha den chuid is mó comhdhéanta de sheomra folúis, cuid a fháil i bhfolús, cuid tomhais folúis, cuid soláthair cumhachta, córas ionchuir próiseála gáis, cuid tarchuir mheicniúil, aonad tomhais teasa agus teocht, galú ianach nó foinse sputtering agus córas fuarú uisce.

1. Seomra folúis

Tá an líne táirgthe sciath leanúnach ag an trealamh sciath den chuid is mó agus tá meaisín sciathán seomra amháin in dhá fhoirm, de bharr go bhfuil ceanglais níos airde ag baint le cumhdach múnla do na páirteanna tarchurtha teasa agus meicniúla, agus go bhfuil éagsúlacht mhór ag cruth, méid an mhúnla, is minic go mbíonn líne táirgthe sciath leanúnach chun freastal ar na riachtanais, le húsáid meaisín sciatháin aon-sheomra.

2. Cuid fála bhfála

Mar gheall ar na ceanglais ard greamaitheachta a bhaineann le sciath na gcodanna múnla, is é an próiseas sciath roimh an bhfolús cúlra níos fearr ná 6mPa, agus is féidir leis an gcéim fholús 0.06mPa nó níos mó a bhaint amach tar éis don phróiseas sciath a bheith críochnaithe, ionas go mbeidh an fholús roghnaithe tá sé ríthábhachtach an ardfholús a bhaint amach i gceart.

Go dtí seo, níl cineál caidéil ann a d'fhéadfadh a bheith ag obair ó bhrú an atmaisféir a dhúnadh d'fholús ultra ard. Dá bhrí sin, ní féidir trealamh folúis a fháil ar fholús agus is féidir modh a bhaint amach, caithfear é a chomhcheangal le caidéil éagsúla, mar shampla caidéil meicniúla, córas caidéil mhóilíneach, etc.

3. Cuid tomhais folúis

Is é an tomhas bhfolús cuid den chóras bhfolús ná an brú sa seomra folúis a thomhas. Cosúil le caidéal folúis, ní féidir aon mhéadar folúsach raon iomlán an fholús a thomhas, agus déantar go leor cineálacha tomhasairí bhfolús de réir prionsabail agus riachtanais éagsúla.

4. Cuid cumhachta a sholáthar

Tá soláthar cumhachta DC agus soláthar cumhachta minicíocht idirmheánach sa chuid is mó den soláthar spriocdhírithe; De ghnáth, ní mór soláthar cumhachta DC, soláthar cumhachta buille nó soláthar cumhachta raidió minicíochta a bheith ag an obair oibre féin.

5. Próiseas córas ionchuir gáis

Is é an próiseas gáis, mar shampla argón (Ar), crioptón (Kr), nítrigine (N ₂ ), aicéitiléin (C ₂ H ₂ ), meatán (CH ₄ ), hidrigin (H ₂ ) agus ocsaigin (O ₂ ) arna soláthar ag an sorcóir gáis, agus ansin téigh isteach sa seomra folúis tríd an comhla brú gáis, comhla cruinne, píopa, sreabhadh gás, comhla piezoelectric, comhla solenoid.

Is é an leas a bhaint as an gcóras ionchuir gáis seo ná go bhfuil an píblíne simplí, solas, agus éasca a dheisiú nó a athsholáthar. Ní dhéanann gach meaisín sciath difear dá chéile, agus tá roinnt meaisíní sciath ann freisin a roinnt grúpa sorcóirí, agus is féidir iad a úsáid i gceardlanna sciathán níos mó. Tá na buntáistí a bhaineann leis an méid sorcóir gáis a laghdú, pleanáil aontaithe, leagan amach aontaithe, agus an mhíbhuntáiste ná go dtiocfaidh méadú ar an seans go mbeidh sceitheadh gáis mar gheall ar an méadú ar an gcomhpháirteacha.

Cuirfidh gach meaisín sciath isteach ar a chéile, agus d'fhéadfadh sceitheadh meaisín sciath difear do chaighdeán na meaisíní sciath eile. Ina theannta sin, nuair a athsholáthar an sorcóir, caithfidh sé a chinntiú nach n-úsáidtear na príomh-aonad.

6. Cuid tarchurtha mheicniúil

Éilíonn an sciath uirlisí tiús aonfhoirmeach timpeall, mar sin ní mór go mbeadh trí rothlú sa phróiseas sciath chun na ceanglais a chomhlíonadh. Is é sin, cé go gcaithfear an tábla mór oibre a rothlú, rothlaíonn an tábla oibre beag oibre, agus is féidir leis an obair féin a rothlú ag an am céanna. I ndearadh meicniúil, is gnách go bhfuil fearas mór gníomhach sa chuid lárnach den chuisleán, atá timpeallaithe ag roinnt roth réalta beag, agus ansin úsáidtear an forc chun an obair a rothar a rothlú.

7. Aonad téite agus tomhais teochta

Nuair a bhíonn an próiseas sciath múnla, chun a áirithiú go mbeidh an obair oibre sciath téite go haonfhoirmeach, tá sé i bhfad níos tábhachtaí ná an sciath maisiúil a théamh. Go ginearálta tá dhá théitheoir, tomhas teocht teirmeachúpla agus rialaithe i gcoitinne. Mar gheall ar an meaisín teirmeachúpla do shuíomhanna éagsúla, ní féidir léitheoireacht teochta a bheith fíor-theocht an obair. Chun teocht fíor an obair a thomhas, is féidir an teirmiméadar dromchla (Dromchla Teirmeach) a úsáid. Is é prionsabal an teirmiméadair ná nuair a théitear an teirmiméadar, téitear bun an earraigh le leathnú, ionas go mbeidh an pointeoir chun uainíocht an pointeoir suímh a chur chun cinn go dtí an teocht uasta. Nuair a fhuaraíonn an earrach, cuireann an earraigh agus an pointeoir go diúltaithe, ach fanann an pointeoir suímh ag an teocht is airde agus léitear teocht an pointeoir tar éis doras an tseomra folúis a oscailt nuair a théitear an seomra folúis, suíomh an teirmiméadar dromchla tá an luach teochta is airde bainte amach aige.

8. Fuasú uilíoch nó foinse sputtering

Is é an foinse ghalúcháin go ginearálta ciorclán, ar a dtugtar sprioc císte babhta, le blianta beaga anuas tá go leor sprioc dronuilleogach il-stua, ach níl aon éifeacht soiléir ann. Tá an sprioc císte babhta suite ar an suíomh suíocháin copair (an suíochán catóide), atá ceangailte leis an rib araon. Tá maighnéad feistithe ag an spriocdhírse, ag bogadh an maighnéad ar ais agus amach, ag athrú neart an réimse maighnéadach, luas iniompaithe luas agus trajectory ag gluaiseacht láithreach. D'fhonn teocht an sprioc agus an sealbhóir sprioc a laghdú, ba cheart an t-uisce fuaraithe a sholáthar go leanúnach don sealbhóir sprioc. D'fhonn seoltacht ard agus seoltacht theirmeach a áirithiú idir an sprioc agus an sealbhóir sprioc, is féidir an gaséad stáin (Sn) a chur leis an sprioc agus an sprioc.

9. Córas fuaraithe uisce

D'fhonn ráta ianúcháin na n-adamh miotail a mhéadú, is as cumhacht mór é gach sprioc catóide agus, dá bhrí sin, ní mór é a fhuaraithe go leor. Go leor cineálacha sciath múnla, is é 400 ~ 500 ℃ an teocht teasa Dá bhrí sin, ar an mballa seomra folúis, tá an fuarú dromchla séalaithe an-tábhachtach freisin, mar sin is fearr an t-uisce fuaraithe a úsáid sa chiller uisce de thart ar 18 ~ 20 ℃.

Tar éis an doras a oscailt, d'fhonn cosc a chur le balla an tseomra folúis teocht Íseal, sprioc catóide agus fuarú teagmhála aeir teasa uisce, an doras a oscailt sa chéad 10 nóiméad, ba chóir don chóras fuaraithe aistriú go dtí staid uisce te, uisce te Tá teocht thart ar 40 ~ 45 ℃.