Tarraingíonn Sputtering an príomh-iarratas

Úsáidtear an sprioc sputtering go príomha i dtionscal leictreonach agus faisnéise, mar shampla ciorcad comhtháite, taispeáint criostail leachtach, stóráil faisnéise, cuimhne léasair, feistí rialaithe leictreonacha, etc.; is féidir é a chur i bhfeidhm freisin ar réimse na sciath gloine; is féidir iad a úsáid freisin i dtáirgí resistant teocht ard, friotaíocht creimeadh, táirgí maisiú ardchaighdeáin agus tionscail eile.

Is féidir de réir aicmiú an chruth a roinnt ina sprioc fada, sprioc, sprioc ciorcail, is féidir próifíl sprioc a roinnt ina spriocanna miotail, spriocdhírithe cóimhiotail, sprioc cumaisc ceirmeach de réir iarratais éagsúla agus roinnte ina sprioc a bhaineann le leathcheoltóir ceirmeach, meán taifeadta, sprioc ceirmeach sprioc ceirmeach a thaispeáint, ábhar spriocdhírigh ceirmeach a tharchur agus sprioc ceirmeach maighnéadaíochta ollmhór i gcomhréir leis an bhfearann ​​iarratais maidir leis an sprioc, sprioc, sprioc, dioscaí taifeadta maighnéadacha de dhroim friotóir tanaí miotail, frithsheasmhach, sprioc, sprioc, scannán seoltóireachta dromchla maisithe ciseal , sprioc, sprioc, sprioc, sprioc pacáiste leictreoid ciseal ornáideach, tá sé mar phrionsabal ag díriú ar sprioc na maighnéadáin: de réir an chomhdhéanta i sprioc sputtering (catóide) agus orthogonal an réimse maighnéadach agus an réimse leictreach agus an anóid, i seomra ardfholús líonadh le gáis gaoithe (De ghnáth), an maighnéad buan foirm 250 go 350 Gauss i an réimse maighnéadach ar dhromchla an ábhair dhírigh Is é réimse an leictreachais leictreamaighnéadach orthogonal comhdhéanta de réimse leictreachais ardvoltais. Faoi thionchar an réimse leictreach, tá ionchur gáis ar ionaid agus leictreoin, an sprioc le voltas ard diúltach, agus an gás oibre faoi ghníomhaíocht réimse maighnéadach ón sprioc leictreonach ó na dóchúlachtaí ioniseachta a mhéadú, plasma ardbhlús a bhunú in aice leis an chaidóid, ról na n-ionsaithe i bhfórsa Lorentz faoi luathaithe i dtreo an spriocdhromchla. Ag an dromchla an-ard luasghlactha ar an dromchla, ba é an sprioc a bhí ag adamh sputtered an prionsabal comhshó móiminteam le fuinneamh ard cinéiteach ón spriocdhromchla chun scannán taisithe a chur in ionad an tsubstráit. Déantar sputtering Magnetron a roinnt ina dhá chineál i gcoitinne: Brainse sputtering agus spraeáil RF, ina bhfuil an gléas sputtering brainse simplí i bprionsabal agus go tapa i sputtering miotail. Is féidir úsáid a bhaint as spásáil RF níos forleithne, chomh maith le hábhair seoltóireachta sputtering, ach freisin ábhair neamh-iompair a sputtering, ach freisin sputtering imoibríoch chun ocsaídí, nítrídí agus cóbail agus comhdhúile eile a ullmhú. Má mhéadaíonn an minicíocht RF, beidh sé ina sputtering plasma micreathonn, de ghnáth le sputtering plasma micreathonn athshondas leictreonacha (ECR).

Sprioc sciath ag maighnéad Magnetron:

An sprioc sputtering cóimhiotail miotail, sprioc sputtering, sprioc ceirmeach sputtering, comhdhlúthú ceirmeach spraeála ceirmeach ceirmeach snáithín ceirmeach fluairíd ceirmeach nítríde ceirmeach ceirmeach sprioc ceirmeach sputtering, selenide ceirmeach spraeáil ceirmeach silicíd sputtering sulfíde ceirmeach sputtering scáthrú ceirmeach sputtering sprioc ceirmeach eile, cróimiam doped sileacain ocsaíd ceirmeach sprioc (Cr-SiO), fosfaide indium (InP), sprioc sprioc luaidhe arsanaic (PbAs), sprioc InAs (InAs).

Tá sprioc sputtering ardchionachta agus ard-dlúis:

Sprioc sputtering (íonachta: 99.9% -99.999%)

1. sprioc miotail:

Sprioc, Ni, sprioc tíotáiniam nicil, Tí, Zn, Cr, Zn, Mg, Cr, sprioc Mg, sprioc Nb, sprioc, sprioc stáin niobium, Sn, sprioc alúmanam agus sprioc Al, sprioc, iarann ​​agus indium sprioc , Spriocanna ZrAl, Zr Al Ti agus Al, TiAl, sprioc siorcóiniam Zr, AlSi, sprioc sileacain sileacain alúmanam, sprioc sprioc S, sprioc Cu, sprioc T copair, sprioc tannal, Ge, a, Ge, Ag, sprioc sprioc airgid cóbalt, Co , A, GD, sprioc óir, sprioc Gd, sprioc Laitríona, sprioc Laitiniam, Cerium, Sprioc, Ce, Y Tungstain, W, cruach dhosmálta, sprioc sprioc sprioc na nicil, sprioc agus HF, NiCr, sprioc moluibdín hafniam agus Mo sprioc, FeNi, nicil iarainn, sprioc tungstain, sprioc sputtering miotail W.

2. sprioc ceirmeach

Sprioc ITO agus AZO, Ocsaíd Mhaignéisiam, sprioc, sprioc, sprioc nítríde sileacain ocsaíd iarainn, nítríd tíotáiniam, sprioc sprioc sprioc sprioc sprioc carbóin, Sinc Ocsaíd chróim, sulfíde sinc, sprioc silica, sprioc ocsaíd sileacain, sprioc ocsaíde ceirmeach, sprioc dhá sprioc agus cúig dhá ocsaíde zirconia, dé-ocsaíde tíotáiniam, sprioc sprioc dhá sprioc zirconia sprioc dhá, agus sprioc ocsaíd hairiam, sprioc dhá dhroimíde titanium súgóiniam boride, sprioc ocsaíd tungstain, sprioc, sprioc cúig trí a ocsaídiú ocsaíd alúmanam trí dhá ocsaíd thionóil cúig, dhá niobium sprioc, sprioc, sprioc fluairíd airtríte, fluairíd mhaignéisiam, sprioc néicríte alúmanam sprioc sprioc selenide, sprioc nítríte sileacain, sprioc carbóin, sprioc, sprioc nítríd níotráití bónón nítrítí tíotáiniam. Sprioc, sprioc, sprioc titanáitiam biatiamáitiam titanáitiam biumáitiam litiam niobate, titanáit lanthanum agus sprioc sputtering sprioc ceirmeach ocsaíd nicil.

3. sprioc cóimhiotail

Sprioc cóimhiotail Ni Cré, sprioc cóimhiotail vailadiam nicil agus sprioc cóimhiotail sileacain alúmanam agus sprioc cóimhiotal copair nicil, Alloy alúmanam tíotáiniam, sprioc cóimhiotail vailadiam nicil agus sprioc cóimhiotail bhóóin, sprioc cóimhiotail fiontairicínithe, sprioc ardchaontaíochta cóimhiotail íonachta.