An Coincheap, Buntáistí agus Míbhuntáistí As Sputtering Maighnéadach Cothrom

Is cineál sputtering traidisiúnta maighnéadach é sputtering cothromaithe maighnéad. Tá maighnéad buan nó coil maighnéadach a bhfuil réimse maighnéadach áirithe atá comhionann le réimse maighnéadach an chroí nó atá gar do chuirtear taobh thiar den sprioc catóide, agus tá réimse maighnéadach ingearach le treo an réimse leictreach bunaithe ar dhromchla an sprioc. Líonadh an seomra taisce le méid áirithe de gháis oibre, agus is gnách gurb é Ar. Tá adamh Ar ionnaithe i hionsaithe Ar + + agus le leictreoin faoi bhrú ard chun scaoileadh glow a ghiniúint. Tarraingíonn an t-inneall Ar + an sprioc tar éis luasghéarú ag an réimse leictreach agus ansin an atmaicéad, na hiain agus na hiain, na leictreon tánaisteacha, etc.

Faoi ghníomhaíocht réimsí leictreamaighnéadacha ingearacha a chéile, gluaiseann leictreon ar bhealach cycloidal agus glactar iad ar dhromchla an sprioc chun cur lena n-trajectory sa plasma, agus a n-rannpháirtíocht i n-imbhuailtí agus in ionization mhóilíní gáis a mhéadú, agus ionsaí níos mó a ionadh ráta ianúcháin an gháis a mhéadú. Is féidir an scaoileadh a choinneáil ag brú gáis níos ísle. Dá bhrí sin, ní laghdaíonn an sputtering maighnéadach an brú gáis ní hamháin le linn an phróisis sputtering, ach feabhsaíonn sé freisin an éifeachtacht sputtering agus an ráta taiscéalaíochta.

Mar sin féin, tá míbhuntáistí ag baint le sputtering cothrom maighnéadach freisin. Mar shampla, mar gheall ar an réimse maighnéadach, tá na leictreoin a ghineann an scaoileadh glow agus an leictreachas tánaisteach sputtered teoranta go dlúth in aice leis an spriocdhromchla ag an réimse maighnéadach comhthreomhar, agus tá an réigiún plasma teoranta go láidir sa limistéar thart ar 60 mm ar an spriocdhromchla, laghdaíonn an tiúchan plasma go tapa mar a mhéadaíonn an t-achar ó sprioc an dromchla. Ag an am seo, ní féidir an obair a chur ach laistigh de raon de 50 go 100 mm de spriocanna chun éifeacht an bhuamála ian a fheabhsú. Cuireann limistéar sciath gearr-éifeachtach den sórt sin teorainneacha geoiméadracha an phíosa oibre le plátáil, mar sin níl sé oiriúnach le haghaidh oibreacha móra nó le luchtú baisc, rud a chuireann srian le cur i bhfeidhm teicneolaíocht sputtering magnetron. I gcás sputtering cothromaithe maighnéadach, tá fuinneamh na gcáithníní spriocanna easpa íseal, agus níl neart nasctha an bonn scannáin bocht. Tá soghluaisteacht íseal ag ada taiscí íseal-fhuinnimh ar dhromchla an tsubstráit agus is féidir scannán a ghiniúint go héasca le struchtúr colúin agus garbh. Is féidir le teocht an workpiece a mhéadú go cinnte struchtúr agus feidhmíocht an scannáin a fheabhsú, ach i go leor cásanna, ní féidir leis an ábhar workpiece féin an teocht ard a theastaíonn a sheasamh.

Fíor 1 (a) Sputtering maighnéadach chothromaithe (b) Sputtering neamhchothromaithe maighnéadach

Braitheann teacht chun cinn maighnéada neamhchothromaithe go páirteach na míbhuntáistí thuas tríd an plasma a thabhairt isteach ag an dromchla spriocóidí caidéil isteach sa raon 200-300 mm os comhair an sprioc sputtering, ionas go mbeidh an tsubstráit tumtha sa phlasma, mar a thaispeántar i bhFíor. 1. Ar an mbealach seo, ar thaobh amháin, tá na adamh agus na gcáithníní sputtered taisce ar dhromchla an tsubstráit chun scannán tanaí a dhéanamh. Ar an láimh eile, cuireann an plasma buamaí an tsubstráit le fuinneamh áirithe, a fheidhmíonn mar thalamh uachtair agus cabhraíonn sé go mór le cáilíocht an scannáin.