Struchtúr Sprioc Sputtering Struchtúr Maighnéadach le haghaidh Trealamh Clúdaigh

Níl an struchtúr atá ag díriú ar an trealaimh sciathán maighnéadach pláinéadach , sa chás iarbhír, nach bhfuil treoluas tosaigh an leictreoin náid, agus ní reáchtáiltear na leictreon go líneach feadh an réimse leictreach i dtreo an anóid, ach déanann tairiscint cycloid faoi éifeacht na réimsí leictreamaighnéadacha orthogonal. Méadaítear go mór an dóchúlacht go dtarlódh imbhualadh le móilíní gáis, agus feabhas ar an ráta ianaithe de ghás argónta. Déantar líon níos mó de na hiain ionsaí a tháirgeadh chun an sprioc a chosc, ag méadú an ráta sputtering. Tá an ráta sputtering thart ar 10 n-uaire níos airde ná mar a bhíonn spórtha ag na cuaillí DC dhá. I gcás go leor spriocanna, tá ráta an galú leictreonaigh ag an ráta sputtering, agus is mór-dul chun cinn é i dteicneolaíocht sputtering an chaidóid. Is féidir leis an t-am taiscéadaithe a ghiorrú agus éifeachtúlacht táirgthe a fheabhsú.

Níl an comhpháirt réimse maighnéadach den dromchla sprioc comhthreomhara aonfhoirmeach. San áit ina bhfuil an réimse maighnéadach is láidre, is é an dromchla sprioc comhthreomhar den réimse maighnéadach an ceann is mó, agus is iad na réimsí leictreamaighnéadacha an fórsa srianta is mó ar leictreon. Dá bhrí sin is é an dlús leictreoin sa réimse seo an ceann is mó, agus is é an dóchúlacht go bhfuil ionization imbhuailte le argó an ceann is mó. Is é déine an glow an ceann is mó, agus tá an déine glow is airde le fáinne glow (dronuilleogach nó ciorclán) an-láidir ar an spriocdhromchla. Is é an méid is mó de ian argáin a tháirgtear sa réigiún seo, agus is é an níos déine a bhíonn an sputtering catóide ar an sprioc. Déantar an spriocdhíriú sa réimse seo a eitseáil go tapa, agus níl an t-ábhar sprioc á gcaitheamh go cothrom agus is cosúil go mbíonn brónna ann. Téann an fliú maighnéadach go díreach tríd an spriocdhromchla, agus déanann an flosc maighnéadach a ghintear ar an spriocdhromchla an méid "maighnéadas". Tar éis sputtering il, déantar an spriocdhíriú a dhéanamh níos déine, méaduithe an flux maighnéadach, agus is é an sputtering níos éasca.

Laghdaíonn an próiseas aiseolais dearfach seo úsáid an sprioc. Maidir leis an sprioc luachmhar, is é an ráta úsáide íseal atá ag an sprioc sputtering planar maighnéadach an easpa atá ag an sprioc sputtering maighnéadach.