Sraith caidéal folúis Ultra-ard

Oct 13, 2023|

Sraith caidéal folúis Ultra-ard
Oibríonn an t-aonad folúis ultra-ard sa raon brú bhfolús ultra-ard de 10-6 ~ 10-10Pa, chomh maith leis an gceanglas go bhfuil ráta aschuir gáis an-íseal ag ábhar an tseomra folúis, a ráta sceite gáis an-bheag, agus is féidir leis bácáil teocht ard 200 ~ 450 céim a sheasamh, áirítear na ceanglais don aonad freisin:
(1) ba cheart go mbeadh an chéim fholús deiridh de na príomhchaidéil ard, ar a laghad 10-7 ~ 10-8Pa thuas;
(2) Tá luas caidéalaithe áirithe ag an bpríomhchaidéal laistigh de raon brú oibre an fholús ultra-ard;
(3) Is féidir le príomh-chaidéal an aonaid nó an chuid os cionn an phríomh-iontógáil aeir caidéil a sheasamh bácáil teocht ard de 200 ~ 450 céim;
(4) Ba cheart go mbeadh brú páirteach an gháis chúlshreafa (lena n-áirítear an gal leachtach oibre agus an gás réitithe) go dtí an caidéal uathrialach íseal go leor;
(5) Ba chóir go mbeadh an príomh-chaidéal le roghnaíocht láidir gáis pumpáilte feistithe le caidéal cúnta sách mór;
(6) Píobáin, comhlaí agus comhpháirteanna eile os cionn an chalafoirt iontógáil príomh-chaidéil an aonaid, ba chóir go mbeadh roghnú agus séalaithe na n-ábhar go háirithe cúramach. Go ginearálta, úsáidtear cruach dhosmálta le ráta aschuir gáis íseal agus struchtúr séalaithe miotail agus ábhair ina saothraítear rónta.

Cuideachta IKS PVD, meaisín sciath maisiúil, meaisín sciath uirlisí, meaisín sciath DLC, meaisín sciath optúil, líne sciath bhfolús PVD, tá an tionscadal cas-eochair ar fáil. Déan teagmháil linn anois, R-phost: iks.pvd@foxmail.com

'Nar par ya: Córas bhfolús tipiciúil
Next2: Umar aeir
Glaoigh Linn