Fadhb Aonfhoirmeach Scannán Sputtering Magnetron

Is éigeantacht thábhachtach é éideacht na scannán sputtering magnetron, agus mar sin ní mór staidéar a dhéanamh ar na fachtóirí a mbíonn tionchar acu ar chomhionannas sputtering maighnéadacha chun bratuithe aonfhoirmeacha a bhaint amach níos fearr. Níl ort ach labhairt, tagraíonn sputtering maighnéadach go ndéanann na leictreon sin tairiscint bíseach timpeall an spriocdhromchla faoi srian an réimse maighnéadach dúnta i réimse leictreamaighnéadach orthogonal. Le linn an tairiscint, leanann leictreon an gás oibre (gás argónta) chun iontas a dhéanamh ar líon mór de na hiain argáin. Faoin réimse leictreach, bíonn na hiain ionsaithe go tapa ag díriú ar an sprioc, agus tá na hiain ionsaí sprioc (nó móilíní) ag taisceadh ar an tsubstráit chun scannán tanaí a dhéanamh.

Dá bhrí sin, chun sciath aonfhoirmeach a bhaint amach, is gá go n-éireoidh sé go haonfhoirmeach na sprioc-atamach (nó móilíní), rud a éilíonn go ndéanfadh na hionna argóine an cuspóir a chomaic go comhionann. Ós rud é go dtiocfaidh na hionsa argáin le buasú an sprioc faoi ghníomhaíocht an réimse leictreach, ní mór go mbeadh an réimse leictreachais aonfhoirmeach. Is iad na hionna argóin a thagann as na leictreoin atá faoi cheangal ag an réimse maighnéadach dúnta, agus bíonn na leictreoin i gcónaí i rith na gluaiseachta, rud a éilíonn réimse maighnéadach aonfhoirmeach agus dáileadh argón aonfhoirmeach. Mar sin féin, i bhfeistí sputtering iarbhír maighnéadacha, tá na fachtóirí seo deacair a bheith go hiomlán aonfhoirmeach, agus is gá staidéar a dhéanamh ar éifeacht a míchothromais maidir le comhionannas foirmiú scannáin. Go deimhin, is é comhionannas an réimse maighnéadach agus aonfhoirmeacht an gháis oibre na fachtóirí is tábhachtaí a dhéanann difear d'aonfhoirmeacht foirmiú scannáin. Ciallaíonn réimse mór maighnéadach tiús scannán mór, agus tá treo an réimse maighnéadach ina fhachtóir tábhachtach freisin a dhéanann difear don aonfhoirmeacht. I dtéarmaí brú aeir, faoi bhrú áirithe, tá tiús mór ag an scannán le brú aeir mór.