Cén fáth a bhfuil an Dearadh Ciorcaid Mhaighnéadach tábhachtach sin?

Tá teicneolaíocht spúnála Magnetron ar cheann de na modhanna sciath taiscí is tábhachtaí le blianta beaga anuas. Déantar é a úsáid go forleathan i dtáirgeadh tionsclaíoch agus i dtaighde eolaíoch. Mar shampla, sa tionscal meaisínithe nua-aimseartha, úsáidtear teicneolaíocht sputtering magnetron chun scannáin feidhmiúla, scannáin super-crua, agus scannáin féin-bhealaithe a chóipeáil ar dhromchla na n-oibreacha. I réimse na optice, déantar teicneolaíocht sputtering magnetron a úsáid chun scannáin antirefhoilíochta a chótaí, scannáin íseal-aitheantais agus scannáin trédhearcacha, scannáin inslithe teasa. Tá ról tábhachtach ag teicneolaíocht sputtering Magnetron freisin i réimse na micreictreonaic, taifead optúla agus maighnéadach. Mar sin féin, tá a chuid easnaimh féin ag teicneolaíocht sputtering magnetron, mar shampla úsáid íseal sprioc, ráta íseal taiscéalaíochta agus ráta íseal ianaithe. Tá an ráta úsáide íseal sprioc mar gheall ar rianta a bheith ann ar an spriocdhromchla, rud a chuireann an plasma le limistéar áitiúil den spriocdhromchla, rud a chiallaíonn go bhfuil sé ina dhiaidh sin. Déantar cruth na rianta a chinneadh ag an struchtúr réimse maighnéadach taobh thiar den sprioc. Is í an eochair chun úsáid an sprioc a fheabhsú ná an struchtúr réimse maighnéadach a choigeartú ionas go mbeidh an plasma i spriocdhromchla níos mó chun sputtering aonfhoirmeach a bhaint amach. Chun sputtering magnetron, is féidir an toradh sputtering a mhéadú trí sprioc na cumhachta a mhéadú, ach féadfar an sprioc a leá agus a scagadh mar gheall ar an ualach teirmeach.

Is féidir na fadhbanna seo a réiteach trí limistéar sputtering an dromchla sprioc a mhéadú i gcás an limistéir sprioc céanna, rud a fhágann laghdú ar dhlús cumhachta an dromchla sprioc. Dá bhrí sin, rinneadh feabhas leanúnach ar dhearadh réimse maighnéadach an chaidóid sputtering maighnéadach. Tá cuid acu ionadaí:

1. Foinse sputtering ciorclach maighnéadach, tá na rianta ar an spriocdhromchla ag dul trí lár an sprioc trí dhearadh réasúnta an réimse maighnéadach, agus déantar an maighnéad a rothlú ag an gléas tarchurtha meicniúil chun sputtering iomlán an dromchla sprioc a bhaint amach.

2. Déantar foinse dronuilleogach dronuilleogach maighnéadach, comhdhéanamh de mhaighnéadacha gluaiseacht diamaint nó pluma múnlaithe blúthan ar chúl an sprioc ag an meicníocht tarchurtha, ionas go mbeidh an ráta foriomlán úsáide sprioc suas le 61%. Féadfaidh coigeartú struchtúr an réimse maighnéadach feabhas a chur ar chomhionannas an tiúis scannáin freisin. Is é an fheidhm a bhaineann le pléascadh ian an teicneolaíocht sputtering neamhchothromaithe a fhorbraíodh trí choibhneas an neart an réimse maighnéadach a choigeartú. Mar sin, is é an dearadh ciorcad maighnéadach an chuid is tábhachtaí den fhoinse sputtering magnetron.