Maidir leis na Fadhbanna a bhaineann le Magnetron Sputtering, An-Chuimsitheach!

Maidir leis na fadhbanna a bhíonn i sputtering magneton, an-chuimsitheach!

IKS PVD, Sóivéadach gach fadhb meaisín sciath PVD, déan teagmháil linn anois, iks.pvd @ foxmail.com

1. Fadhb maighnéadach maighnéadach agus scaoileadh glow an sprioc maighnéadach

a. Feabhas a chur ar réimse maighnéadach Bn 300-700gs

b. Laghdú an t-ábhar sprioc 2-3mm tiús

c. Méadú brú oibre

d. Bain salachar an dromchla sprioc

2. Garbhús an dromchla a laghdú

a. cóireáil teasa

b. paraiméadair phróiseas rialaithe

c. snasta meicniúil

d. snasú ceimiceach

e. snasta leictriceimiceach

f. an ciseal bun ag plé le céim leachtach

g. Spraeáil ciseal bun orgánach

3. Greamaitheacht scannáin

a. glanadh

b. a thriomú

c. glanadh plasma

d. ciseal aistrithe

4. Tá luas taiscí sputtering mall

a. Sputtering athghníomhach: teacht ar phointe criticiúil an chuar hysteresis, ardóidh an ráta taiscí agus feabhas a chur ar chaighdeán na scannán;

b. Spraeáil RF: cumhacht méadaithe agus brú aeir laghdaithe (m.sh. 7.5mt)

5. Féadfaidh feiniméin míchothrom a bheith i gceist le tabhairt isteach aicéitiléine i bpróiseas sputtering an imoibrithe, rud a fhágann difríochtaí i gcáilíocht na scannán taiscthe ar an tsubstráit, rud a léiríonn stripes dath rialta .

6. Treoracha le haghaidh sputtering fadtéarmach

a. Córas fuarú

b. Sciath

c. Soláthar cumhachta feidhm mhúchadh stua

d. Friotaíocht teocht ard pláta líneála

7. Tionchar na paraiméadair sputtering magnetron

a. rudaí eile a bheith comhionann, tá tionchar an dlús cumhachta agus an t-am ar thiús scannáin thart ar chomhréireach. Tá an méadú ar chumhacht tairbheach chun dlús agus criostalú an scannáin a mhéadú. Bíonn tionchar ag méadú nó laghdú ama ar ardú teochta an tsubstráit agus tiús an scannáin, agus tá tionchar indíreach aige ar an criostaacht

b. Éideachas: comhionannas optúil, comhionannas leictreachais agus aonfhoirmeacht tiús scannáin.

c. Speictriméadar, tástálaí tiús scannán ceithre-rabhaidh.

d. DC: féidearthacht cobhsaí, spriocdhírithe sealadacha traidisiúnta ar nós miotail agus ITO, ráta taisce cobhsaí ard

e. RF: oscillation ard-minicíocht, a úsáidtear go coitianta i 13.56mhz, a úsáidtear le haghaidh insliú (SiO2, AL2O3), leathsheoltóir, ábhair miotail, scannán dlúth, ráta íseal taiscéalaíochta.

8. Radaíocht ó sholáthar cumhachta magnetron

a. tá radaíocht chumhachta ann, go háirithe cumhacht RF

b. Mhol sé go roghnaíonn sé cumhacht allmhairithe (AE srl.), léirigh cumhacht RF Baile 2% cumhachta, is féidir cumhacht allmhairiúcháin a rialú faoi 1 w.

c. déanfar an bosca meaitseála cumhachta agus an catóide idir an ceangaltán a shciatháil

d. is éard atá i gceist leis an bpróiseas meaitseála cumhachta sceite radaíochta is mó, mar gheall ar an gcumhacht cumhachta frithchaiteach ard ná ceart, an machnamh níos airde

e. chun toircheas agus toirchis a ullmhú, fanacht amach ó mhinicíocht raidió

9. Spotaí dubha a bhrath i scannán ocsaíd mar gheall ar hypoxia

a . Is gnách go bhfuil an ocsaídí spraeála RF den scoth, agus tá roinnt eilimintí ocsaigine ar iarraidh sa chiseal scannán;

b. Is féidir feabhas a chur ar ocsaigin 10% chun feabhas a chur air

c. Breathnaigh ar an rúidbhealach eitseáilte. Má tá an rúidbhealach eitseáilte chomh dorcha le dath an chomhlachta, is féidir an fhadhb seo a dhíchur . Má tá an rúidbhealach eitseáilte i bhfad níos dorcha ná an comhlacht, is é easpa ocsaigine é.

10. Bhí toradh sputtering Al níos ísle ná Cu agus Gr

A. toradh sputtering a dhéanann difear do na fachtóirí: an fuinneamh ian eachtra agus is féidir éalú an nascáil adamhach

b. sputtering: nádúr an tionchair agus éalú

c. tionchar: an móiminteam is mó - is é an toradh is airde a úsáideann an tionscal, go ginearálta, an tA (costas agus sputtering toradh)

d. éalú: adaimh Al beag agus trí leictreon seachtrach, tá greamaitheacht láidir, toradh íseal sputtering

e. tá gné rialta ag baint le sputtering éagsúla sa tábla tréimhsiúil

11. Dlúis chumhachta uasta de sprioc sputtering dc magnetron

a. tionchar a imirt ar fhachtóirí: fuaraithe, ábhar sprioc, struchtúr an sprioc

b. mar shampla: ceirmeach / Si 5-8 w / c ◎ sprioc miotail 20-40 w / c ㎡

12. Sciath plaisteach

A. fadhbanna atá ann cheana féin

a. ionsú mór uisce, scaoileadh aer mór

b. neamh-polar, difríocht mhór le comhéifeacht scannán teirmeach leathnú

c. garbh mór agus friotaíocht teasa bochta

B. Rabhaidh

a.Dearadh a roghnú: garbh íseal, lú scaoileadh aer

b. Mhéadaigh an próiseas i bhfolús, tháinig laghdú ar theocht an phróisis

c. Éadromaigh dromchla, primer cótála ar nós UV sciath orgánach, glanadh plasma

Cuir sraith aistrithe leis

13. Cáithníní beaga ar dhromchla sputtering

a. fadhb glanadh

b. deannach cavity

c. sprioc eisíontais

d. neamhshuim soláthar cumhachta, ag tosú ARC

e. d'fhéadfadh ocsaídiú neamhiomlán a bheith ann do sputtering imoibríoch

14. Tomhas tiús scannáin

a. Muileann liathróid

b. Céim

c. Trasghearradh micreascóp meitreagrafach

d. SEM

e. Tomhas tiús nondestructive

15. Spriocanna a nimhiú

A. Is é an chúis is mó le haghaidh nimhiú sprioc ná go bhfuil luas sintéise an mheáin níos mó ná an toradh sputtering (iomarca gás imoibriú ocsaigine trína), agus mar thoradh air sin cailltear cumas seoltóireachta an sprioc seoltóra. Ní féidir leis an spíosc a ghiniúint ach amháin tríd an voltas miondealú a mhéadú. Feiniméan: ní féidir leis an spriocvoltais teacht go gnáth ar feadh i bhfad, agus is é an sprioc sputtering i gcónaí i stát oibríochta ísealvoltais, agus é ag scaoileadh stua; Is cosúil go bhfuil daingneáin bhána nó rianta slándála snáthaidí dlúth ag an spriocdhromchla

B. Chun an nimhiú sprioc a dhíchur go hiomlán, ní mór soláthar cumhachta minicíochta idirmheánach nó soláthar cumhachta rf a úsáid seachas soláthar cumhachta dc; Is féidir le modhanna cosúil le laghdú gáis imoibríoch a laghdú, an chumhacht sputtering a mhéadú, na truailleáin a ghlanadh (go háirithe stains ola) ar an ábhar spriocdhírithe, agus an masc atá ag múchadh an stua uiscedhíonach a roghnú le dea-fheidhmíocht bhfolús a chosc go n-éireoidh sé go n-éireoidh sé le nimhiú sprioc. Tá stains ag an maighnéad atá sáithithe in uisce fuaraithe taobh istigh den sprioc. Chomh fada is go bhfuil neart an réimse maighnéadach go leor agus go bhfuil an éifeacht fuaraithe maith, níl tionchar beag aige ar an sprioc

C. Is beag éifeacht a bhíonn ag an stain ~ is é an chuid inslithe de bharr an adhainte, nimhiú áitiúil nó earraí goidte de ghnáth. Nochttar an sprioc sputtering toisc go bhfuil an dlús cumhachta ró-íseal agus nach féidir an gáis imoibríoch iomarcach a vaporized (nó sputtering) in am, rud a fhágfaidh dromchla an sprioc agus an seoltacht leictreach a laghdú, ag dul isteach sa stát tocsaineach. Ní féidir solas a ghlanadh, soláthar cumhachta scrapped trom.

16. Spriocanna coiteanna

Sprioc M etal: Ni , Ti, Zn, Cr, Mg, Nb, Sn, Al, In, Fe, ZrAl, TiAl, Zr, AlSi, Si, Cu, Ta, Ge,

Ag, Co, Au, Gd, La, Y, Ce, W, Cruach Dhosmálta, NiCr, Hf, Mo, FeNi, srl.

Sprioc ceirmeach: sprioc ITO, ocsaíd ferrí, sprioc ocsaíd mhaignéisiam, sprioc, sprioc, carbónú sileacain nítríd sóicéadiam sprioc sprioc sprioc, sprioc sulfú, since ocsaíd zinc, ocsaíd cróimiam agus sprioc sprioc dé-ocsaíd sileacain, dírigh ar ocsaíd sileacain, ocsaíd chairiam , sprioc dé-ocsaíd siorcóiniam, sprioc sprioc díriúcháin niobium, sprioc, dé-ocsaíde tíotáiniam, dé-ocsaíd siorcóiniam, sprioc hairiam, sprioc, sprioc sciariam dóitearimdhidrídiam siorcóiniam, sprioc, tiostan trioxíde sprioc tólamáin pentoxide 3 ocsaídiú 2 alúmanam, sprioc sprioc díréiseach niobium, sprioc, fluairíd airtrí , fluoride maignéisiam, sprioc selenide zinc, sprioc, sprioc nítríde sileacain nítríde alúmanaim, sprioc, sprioc nítrít titanium nítríde bónón, sprioc comhdhúile sileacain, sprioc, aigéad tíotáiniam sprioc litiam Niobate praseodymium titanate lanthanum, sprioc titanáit barium, sprioc, sprioc ocsaíd nicil, etc. .