Anailís ar Acmhainn Cumhachta-Iompraíochta De Spriocanna Sputtering Maighnéadacha

  1. Spriocdhírithe agus raon cumhachta ualaigh

(1) Is éard atá i dlúis chumhachta sprioc ciorclach maighnéadach pláinneach 1 ~ 25w / cm ^{2 i} gcoitinne

(2) Is é dlús chumhachta sprioc dronuilleogach maighnéadach pláinneach 1 ~ 36w / cm ²

(3) Is é dlús chumhachta sprioc an cholúin maighnéadaigh agus sprioc maighnéadach bána cónúil (gunna S) go ginearálta 40 ~ 50w / cm ² .

2. Cumhacht iompair iarbhír sprioc magnetron

I dteannta na dteicneolaíochta sputtering agus na ceanglais cáilíochta scannán, tá dlúthbhaint ag an gcumhacht a bhfuil an sprioc maighnéadach i gceist chomh maith leis na coinníollacha fuaraithe agus le coinníollacha díscaoilte teasa an sprioc.

Is féidir spriocanna maighnéadacha a roinnt ina dhá chineál "sprioc fuarú uisce díreach" agus "sprioc fuarú uisce indíreach" bunaithe ar an modh fuaraithe.

Ag smaoineamh ar dhul in aois an sprioc tar éis na húsáide fadtéarmach, déanann sé a dhálaí easaontaithe teasa bochta, agus ag cur san áireamh comhéifeachtaí difriúla teasa éagsúla spriocdhírithe éagsúla, an chumhacht ualach deiridh den sprioc magneton agus an uasmhéid cumhachta iarbhír den sprioc fuaraithe uisce díreach a leagan níos lú ná an teorainn uachtarach den raon dlús cumhachta. Agus is féidir an t-ualach iarbhír iarbhír den sprioc fuaraithe uisce neamhdhíreach a shocrú thart ar leath de uasteorainn an raon dlús cumhachta.

Nuair atá spriocanna maighnéadacha (den chuid is mó de chuid Cu, Ag, Prás, agus Al a cré-umha) "féin-sputtering", de ghnáth, úsáideann sé sprioc sputtering maighnéadach atá deartha go sonrach le "fuarú uisce díreach". Ní mór go mbeadh an chumhacht iompair deiridh le húsáid níos mó ná an teorainn uachtarach den raon spriocdhlúis cumhachta.