Córais Evaporation Beam Leictreon
Sep 12, 2018| Córais leictreach agus galú teirmeach. Is féidir go n-áireofaí téimh go teocht níos mó ná 950 ° C i gcéimeanna uainíochta phleanála nó simplí, ag brath ar mhéid an tsubstráit agus ar ábhar. Is féidir foinsí ian d'IBAD agus réamh-ghlanadh an tsubstráit a chomhtháthú i gcórais chomh maith. Tagann córais galúcháin le stáisiúin phumpála iomlána, comhlaí láimhe nó leictreamaicéara, gach tomhasán folúis, bosca dáileadh cumhachta, racaí leictreonacha, iomadúla uisce agus aer, agus interlocks sábháilteachta. Is féidir córais a oibriú de láimh nó trí rialú ríomhaireachta. Is féidir téitheoirí agus maniplóirí foshraithe a dhearadh le haghaidh cruthanna agus méideanna substrate neamhchaighdeacha. I measc na n-iarratais tá taighde bunúsacha, feistí SAW, sileacain agus meaisleadh saighear GaAs, MEMS nó teicneolaíocht taispeáint, agus níos mó.
Tá go leor roghanna córais ar fáil, lena n-áirítear raon leathan foinsí leictreacha leoma agus teirmeach, soláthairtí cumhachta, comhtháthú foinsí léasa ian nó magnetron sputter, cumas RGA, UHV, glais ualach ilbhlabhra, agus monatóireacht in situ.
