Fás Scannáin

Tá trí chéim sa phróiseas taiscéalaíochta scannáin uile:

1. táirgeadh an scannáin ina speiceas

2. iompar na speiceas seo ón bhfoinse chuig an tsubstráit

3. comhdhlúthú agus fuála ar an tsubstráit

I PVD, is é an chéad chéim ná galú ná sputtering, is éard atá sa dara céim ná iompar líne-radhairc má tá an brú próiseas an-íseal agus go bhfuil dóchúlacht beag ann d'imbhuailtí nó d'iompar sreafa má tá an brú ard. Bíonn tionchar ag an gcineál iompair ar fhás iarbhír an scannáin sa tríú céim.

Nuair a thagann adamh ar dhromchla an tsubstráit agus go ndéanfar é a dhíscaoileadh, déanfar é a dhíscaoileadh ar an dromchla go dtí go mbeidh sé díghabháilte nó go bhfostófar go suíomh fabhrach fuinniúil. Tá an difríocht dhromchla seo ag brath ar an bhfuinneamh atá ag an adamh nuair a thagann sé chun an dromchla agus má sholáthraíonn fuinneamh breise an tsubstráit, m.sh. trí théamh nó bombardú ian. Tá fuinneamh an adamh ag brath ar an mbrú sa seomra taisce, laghdaíonn brú ard an fuinneamh mar gheall ar chaillteanais fuinnimh in imbhuailtí. Is féidir le bombardú ian an dromchla a dhéanamh i modhanna plasma atá bunaithe agus is féidir a bheith á rialú ag voltas claonta diúltach an tsubstráit maidir leis an plasma.

Má luíonn an t-adamh le adamh scannáin eile ag an dromchla, cruthaítear péire íseal-soghluaisteachta agus cuireann sé seo an dóchúlacht le haghaidh adamh eile fós a ghéilleadh leo. Ag líon ríthábhachtach adamh, nó núicléach criticiúil, bunaítear núicléas. Fásfaidh na núiclí seo go dtí oileáin criostalach a choinníonn le chéile nuair a bheidh siad ag teacht le chéile agus ar deireadh scannán leanúnach a dhéanamh. Ag brath ar na paraiméadair phróisis leanfaidh fás an scannáin ar bhealaí difriúla a thugann micrestruchtúir dhifriúla. Is féidir leis an scannán fás ciseal-le-ciseal a fhás nó in oileáin 3D nó i meascán den dá mhodh fáis seo.

I PVD is minic a bhíonn an fás scannán colún, ie tá na criostailigh ag fás i gcolúin le teorainneacha gráin níos mó nó níos lú forbartha idir iad. Is féidir leis na teorainneacha gráin a bheith ina bhfolacha agus ag meathlú na maoine is mó den scannán, ach is féidir go mbeadh airíonna treibheacha den scoth le scannán ciorclán fíor, dlúth. Is minic go bhfuil microstruchtúr dlúth iomlán sa scannán inmhianaithe. Ós rud é go bhfuil an micrestruchtúr dlúth á chur chun cinn trí bhomadh ionsaí den scannán atá ag fás, is minic gur féidir modhanna PVD a thaisceadh i bplasmas ard-dlúis.

Forbraíodh roinnt samhlacha fáis scannáin chun tionchar a imirt ar riocht an taiscéalaigh ar mhicreatruchtúr an scannáin. Is iad na samhlacha crios struchtúir eimpíreach a úsáidtear go coitianta ina n-aithnítear modhanna fáis difriúla (criosanna) i léaráid le haghaidh teocht éagsúla le cóimheasa teocht leá (T / T m). D'fhoilsigh John A. Thornton athbhreithniú fairsing ar shamhail den sórt sin i 1977 agus leanann anseo achoimre ghearr ar seo. Rinne Movchan agus Demchishin an t-aicmiú seo a leanas: Is cosúil le Crios 1 nuair a bhíonn T / T m <0.3 agus="" tréithriú="" ardchruinneas="" dromchla="" agus="" gráin="" dhoite="" i=""> Is cosúil le Crios 2 nuair a bhíonn gráin mata, dromchla réidh agus colúnacha le tréithe sainiúla, dlúth le tréithe 0.3 <> Is cosúil le Crios 3 nuair a bhíonn 0.5 <1 agus="" tréith="" dhromchla="" geal="" agus="" gráin="" chothromaithe=""> Tá struchtúr agus airíonna an chrios seo gar do ábhar mórchóir. Tá múnla leathnaithe molta ag Thornton áit a gcuirtear tionchar an phróisis ar bhrú gáis isteach sa dara ais sa léaráid. Sa léaráid seo, is féidir ceathrú crios (crios T, trasdul) a shainaithint idir crios 1 agus crios 2. Tá struchtúr an chrios T dlúth agus snáithíneach gan teorainneacha gráin neamhghnácha.