Recipes Scannán Maisiúla Duibhe ian

Oidis sciath ian dubh oidis scannán ornáideacha

1. Comparáid ábhartha

C TIC

Is é TiC an scannán dubh is coitianta agus is deacra. Is féidir le dath a bhaint amach níos doimhne, tá feidhmíocht chaitheamh-fhriotú an-mhaith freisin, ach níl sé sách steirling, ach bíonn dath buí air i gcónaí. Thairis sin, toisc go bhfuil an leáphointe tíotáiniam measartha íseal, is furasta cáithníní móra a tháirgeadh nuair a bhíonn tú ag spréadh, rud a chiallaíonn go bhfuil sé deacair an íogaireacht optúil a fheabhsú. Níl an cumas frith-mhéarloirg go maith, ná buí buí, éiríonn sé blurrach.

（2） CrC

Tá ton foriomlán an CrC níos fearr ná ton an TIC, rud atá níos lú dubh ach níos íon agus níos gile. Ós rud é go n-athraíonn cróimiam go díreach ó staid sholadach go staid ghásach le linn spréite, cé go bhfuil an chomhéifeacht cróimiam an-mhór agus go bhfuil an ráta sil-leagain scannán an-tapa, tá a ghile optúil níos fearr ná an TIC. Tá cosaint mhéarloirg níos fearr freisin ná TIC. Ábhar sobhriste is ea Cr, agus tá an strus iarmharach sa scannán an-tábhachtach don fhriotaíocht chaitheamh.

（3） TiAlC

Rinneadh tástáil ar TiCrAlC le sprioc beag eitleáin, agus léirigh na torthaí go raibh íogaireacht solais agus friotaíocht méarloirg an-mhaith, a bhféadfadh dhá chúis a bheith leo: (1) go raibh íogaireacht solais agus friotaíocht méarloirg an ábhair go maith; (2) úsáid bombardú sprioc eitleáin. Tá friotaíocht mhaith caite aici freisin, a d'fhéadfadh a bheith mar gheall ar: 1. (2) Tá TiCrAlC féin réasúnta frithsheasmhach ó thaobh caitheamh; (3) tá dlús cumhachta an sprioc eitleáin bheaga sách ard, agus tá fuinneamh ard ag na cáithníní sputter, mar sin tá an scannán dlúth.

（4） TiCrAlC

Rinneadh tástáil ar TiCrAlC le sprioc beag eitleáin, agus léirigh na torthaí go raibh íogaireacht solais agus friotaíocht méarloirg an-mhaith, a bhféadfadh dhá chúis a bheith leo: (1) go raibh íogaireacht solais agus friotaíocht méarloirg an ábhair go maith; (2) úsáid bombardú sprioc eitleáin. Tá friotaíocht mhaith caite aici freisin, a d'fhéadfadh a bheith mar gheall ar: 1. (2) Tá TiCrAlC féin réasúnta frithsheasmhach ó thaobh caitheamh; (3) tá dlús cumhachta an sprioc eitleáin bheaga sách ard, agus tá fuinneamh ard ag na cáithníní sputter, mar sin tá an scannán dlúth.

（5） TiCN

Is scannán é TiCN le cruas maith agus friotaíocht a chaitheamh. Is féidir leis an dath a bheith níos dorcha ná TIC. Níl sé réidh don lámh agus tá mothú greamaitheach aige.

2. Cumraíocht an mheaisín thurgnamhaigh

Source 1） Foinse Cumhachta

1) Soláthar cumhachta meánmhinicíochta AE

Tá cruinneas foinse cumhachta AE an-ard, níl an gá le sprioc-ábhar ard, tá cumas féinchosanta na foinse cumhachta sách láidir, mar sin tá an ceanglas maidir le dálaí seachtracha amhail céim i bhfolús níos déine, éasca a mhúchadh. Tá solas maith agus friotaíocht méarloirg ag an scannán CrC plátáilte, ach tá an dath dubh le gorm. Is é an fhriotaíocht abrasion an chuid is fearr de na soláthairtí cumhachta tástála.

2） Soláthar cumhachta minicíochta idirmheánaí Xinda

Tá cumhacht an tsoláthair cumhachta nua níos mó, is féidir é a úsáid go comhthreomhar lena cheann de na buntáistí. Bhí an scannán CrC dubh ach bán, agus bhí an fhriotaíocht chaitheamh níos measa ná mar a bhí ag cumhacht AE .

3） Sp soláthar cumhachta meándmhinicíochta

Tá cobhsaíocht an tsoláthair cumhachta shengpu níos measa ná soláthar cumhachta eile, agus ní mór an chumhacht iarbhír. Tá an scannán plátáilte CrC beagán buí agus ní chaitheann sé go maith.

4） Cumhacht ardteicneolaíochta   soláthar cumhachta meánmhinicíochta

Is é cumhacht ardteicneolaíochta an ceann is mó, ach in úsáid ísealchumhachta nuair a bhíonn an luisne éagobhsaí, ardchumhacht nuair a bhíonn an torann níos mó.

5） Sheng pu soláthar cumhachta DC

Bhí gormghlas an tsoláthair cumhachta DC, ag léiriú go raibh fuinneamh níos airde ag na cáithníní sputter. Mar sin féin, tá éifeacht hysteresis an sciath cumhachta dc tromchúiseach, agus tá sé deacair an dath a rialú.

（2） Sputing sprioc Magnetron

1） Sprioc spriocdhíreach díreach cróimiam uisce-VS cróim indíreach fuaraithe uisce

Is féidir leis an sprioc dhíreach fuaraithe uisce soláthar cumhachta níos airde a úsáid mar gheall ar a éifeacht fuaraithe níos fearr. (Go ginearálta, is é dlús cumhachta an fhuaraithe dhírigh ná 25W / cm2, agus is é 15 ~ 20W / cm2 an t-idirmheáchan). Tá na cáithníní miotail sputter níos míne. Sa tástáil ar leictreachas, d'úsáid an sprioc chróimiam díreach fuaraithe san uisce soláthar cumhachta xinda agus soláthar cumhachta AE, agus úsáid an sprioc chróimiam uisce-fhuaraithe soláthar cumhachta shengpu. Mar thoradh air sin, bhí feidhmíocht níos fearr ag an CrC a plátáladh ón sprioc chróimiam a bhí fuaraithe go díreach leis an uisce (bhí éifeacht ag an soláthar cumhachta freisin). Chomh maith leis sin, tá an nimhiú sprice cróimiam uisce-fuaraithe díreach éadomhain agus tá an t-am nite sprice gearr. Ina theannta sin, nuair a bhí an sprioc chróimiam uisce-fhuaraithe ceangailte leis an soláthar cumhachta AE, bhí an glow gorm, bhí fuinneamh ard ag na cáithníní sputter, agus bhí íonacht Cr níos airde ná an chróim chróim díreach fuaraithe san uisce, mar sin bhíothas in ann sciath níos fearr a fháil. Nuair is é 3KW an chumhacht agus is é 0.1pa an chéim i bhfolús, is féidir í a úsáid freisin chun turgnaimh a leagan síos maidir le bombardú sprice colún.

Sprioc sprioc sorcóra sprioc an eitleáin

Is fearr le sprioc plánach ná sprioc sorcóireach, mar sin de ghnáth táirgtear scannán níos fearr. Toisc go bhfuil an áit eitseáil de sprioc an phlóra dofheicthe, níl sé éasca a bheith nimh, agus is féidir scannán níos tibhe a fháil. Is é an tástáil reatha an bombardú soláthair cumhachta DC, an tsubstráit, agus ansin an scannán brataithe cumhachta meánmhéide cumhachta foinse, is é an toradh atá air seo ná cúpla uair an chloig de scannán a scamhadh, gan comparáid a dhéanamh idir na buntáistí agus na míbhuntáistí a bhaineann le sprioc an eitleáin agus an sprioc sorcóireach. Is gá sprioc stua a úsáid chun an tsubstráit a bhombardú, agus sprioc eitleáin a úsáid chun an scannán a phléascadh, chun a fháil amach an bhfuil feidhmíocht an scannáin phlátáilte feabhsaithe?

Réimse maighnéadach (cothromaíocht neamh-chothromaíochta V)

Is é an cuspóir atá le réimse maighnéadach neamh-chothromaíochta a úsáid ná achar plasma a leathnú, fuinneamh na gcáithníní a thaisctear ar an bpíosa oibre a fheabhsú, agus an fhriotaíocht chaitheamh a fheabhsú. Mar sin féin, taispeánann na torthaí turgnamhacha go bhfuil friotaíocht chaitheamh an scannáin tar éis ní athraítear réimse maighnéadach cothromaíochta go mór, ach laghdaítear an íogaireacht solais agus friotaíocht méarloirg. De réir staid an dromchla spriocdhírithe tar éis an réimse maighnéadach a athrú, déantar an solas atá gar don spriocdhromchla a lagú, agus feabhsaítear an solas ag an áit níos faide ón sprioc, rud a léiríonn go bhfuil achar an phlasma tar éis é a athrú go dtí an Tá réimse maighnéadach -equilibrium leathnaithe go deimhin. Ina theannta sin, mhéadaigh an claonadh atá ann faoi láthair, ag léiriú gur mhéadaigh an ráta ianúcháin freisin. Mar gheall ar ardú voltais an tsoláthair cumhachta, d'fhéadfadh sé a bheith mar thoradh ar lagú an réimse mhaighnéadaigh i gcoitinne, agus ní de bharr neamh-chothromaíochta é. Cén fáth a ndeachaigh an turgnamh ar bhealach difriúil ná mar a bhíothas ag súil leis? I mo thuairimse, tá roinnt cúiseanna mar seo a leanas: a bhfuil leibhéal ard neamh-chothromaíochta ann, rud a fhágann go bhfuil an réigiún plasma ró-mhór agus fuinneamh na gcáithníní taiscthe ró-mhór. Ina theannta sin, méadaíonn an ráta teistíochta tar éis don réigiún plasma leathnú. Dá bhrí sin, laghdaíonn an compord optúil, agus ní mhéadaíonn an fhriotaíocht chaitheamh go suntasach. Nuair a ardaíonn cumhacht foinse cumhachta b, méadaíonn an méid spréite, méadaíonn an ráta sil-leagain, agus cuirtear isteach ar an ord solais. Ní bhfuair C an próiseas brataithe is fearr le linn na tástála leictreachais, agus bhí roinnt earráidí sna torthaí turgnamhacha.

Díríonn péire ar dhá sprioc VS

Bhí éifeacht scardadh glow ar sprioc na bpéirí i bhfad níos fearr ná an éifeacht a bhí ag dhá sprioc. De réir riachtanas difriúil, is féidir glacadh le socrúchán dúnta agus socrúchán scátháin don sprioc.

(3) foinse chúnta (filiméid)

Maidir leis an bpróiseas spriocdhírithe aoncholúin, mura bhfuil filiméid ann, níl dath an scannáin aonfhoirmeach, éasca le daite, tá ord solais agus éifeacht méarloirg an-lag; Maidir le minicíocht idirmheánach, ní léir éifeacht filiméid a chur leis. Sa phróiseas brataithe, mhéadaigh sreabhadh C2H2 beagán tar éis an filiméid a chur leis, ag léiriú go raibh ról áirithe ag an filiméad i ianú, ach nach raibh mórán ann. Feidhm eile de chuid an filiméid is ea an tsaothar a théamh. I gcomparáid leis an bhfeadán teasa, ní hamháin go méadaíonn an téamh imbhuailte teasa teasa teocht an tsaothair, ach tugann sé fuinneamh tosaigh cinéiteach do na hadaimh thaiscithe freisin, feabhsaíonn sé a chumas idirleata agus méadaíonn sé gníomhaíocht an tsraith scannáin.

（3） post píopa gáis

Faoi láthair, moladh trí mhodh aerála indéanta: 1) cuireadh an traicé idir spriocanna minicíochta idirmheánacha chun an ráta ianúcháin de ghás imoibriúcháin a fheabhsú; 2) traicé in aice le sprioc, is é an cuspóir atá leis an traicé in aice leis an sprioc mar fhoinse ianúcháin, an sprioc eile mar fhoinse spréite; 3) an gás atá ag obair in aice leis an sprioc spréite, an gás imoibriúcháin in aice leis an bpíosa oibre, chun an nimhiú sprice a mhaolú.

3. Comparáid idir modhanna brataithe ( minicíocht med ium vs sprioc lárnach + filiméad)

Go teoiriciúil, tá an ráta ianúcháin ar mhinicíocht mheánach i bhfad níos airde ná an ráta i gcolún aonair. Ach de réir na dtorthaí turgnamhacha, bíonn buntáistí áirithe ag an gclúdach minicíochta idirmheánach i ndath, in éadrom agus in aghaidh méarloirg, ach i dtéarmaí friotaíochta caithimh tá sé níos measa. D'fhéadfadh na cúiseanna a bheith mar seo a leanas: a ó thaobh na luisne de, an chuid is mó den gheol ag úsáid tá an soláthar cumhachta meándmhinicíochta bán (is é atá i gceist le solas bán ná meascán dearg, oráiste, buí, glas, gorm, loch agus corcra), agus tá a chuid fuinnimh níos ísle ná an solas gorm a ghineann an soláthar cumhachta DC. Nuair a ÚSÁIDÍONN SÍ an soláthar cumhachta meánmhinicíochta, is réimse maighnéadach atá dírithe go ginearálta é, agus tá na cáithníní spréite comhchruinnithe i dtreo amháin, mar sin is féidir a luisne a bheith láidir. Tá an plasma neamhleanúnach ar rian an tsaothair, agus mar sin tá an scannán neamhleanúnach.   Is é sprioc 360 ° agus réimse maighnéadach colúin amháin, dáileadh sputtering na gcáithníní go cothrom timpeall na sprice, níl dlús na gcáithníní ard freisin, tá sé scaipthe go cothrom i bhfithis an tsaothair, is é fás an scannáin an éide leanúnach atá ag fás go mall; Tá ráta ianúcháin níos airde ag sciath mheánmhinicíochta C agus bíonn brú claonta ag dul i bhfeidhm air freisin. Feabhsaítear cruas an scannáin a fhaightear, rud a chuidíonn leis an éifeacht frith-mhéarloirg, agus méadaítear an strus iarmharach, a mbíonn tionchar aige ar fhriotaíocht an chaitheamh. Is iad an dá sprioc de mhinicíocht d mheán ná cuaillí Ceann agus Yang dá chéile. Nuair a bhíonn tú ag spúchadh mar an chatóid, déantar an sprioc mar anóid a fhuarú chun cáithníní móra a laghdú agus ord solais a fheabhsú.

Tionchar na bparaiméadar próisis

（ 1 ） Tar éis brú laofachta fuinneamh breise a thabhairt d'iain, ionas go méadaítear an sil-leagan scannán níos mó , ach gur mhéadaigh an strus comhfhreagrach freisin. Is é an ráta ianúcháin de sputtering maighnéada idir 10% agus 20%, i gcomparáid le 20% go 40% den chatóid the agus 60% go 90% de il-stua, tá an ráta ianúcháin an-íseal. Tagann carbón sa scannán ó C2H2, agus ní féidir C2H2 a thaisceadh ach amháin sa scannán tar éis é a ianú isteach i C + agus CH + (ní dhéantar ach beagán C2H2 a mheascadh leis an scannán), mar sin bíonn claontacht ag cur isteach ar eilimint C sa scannán sula ndéantar é a thaisceadh ar an bpíosa oibre . Nuair a bhíonn an claonadh ard, cúlsúshlán C + ná na hiain mhiotail chun dath foriomlán an scannáin níos éadroime a dhéanamh. Ina theannta sin, leis an méadú ar chlaontacht, méadaíonn cruas an scannáin, rud a chuidíonn leis an éifeacht frith-mhéarloirg den scannán, ach níl sé fabhrach don Gile.

（2） Is féidir tuiscint a fháil ar an gcóimheas dleachta mar an t-am a bhaineann le claontacht an tsaothair, agus is mó an cóimheas dleachta, an t-iomlán a chuirtear i bhfeidhm ar an bhfuinneamh ian, feabhas a chur ar chruas an scannáin, ach tá sé furasta cóimheas ró-ard dleachta a shreangú.

（3） Mar a luadh thuas, tá an ráta ianúcháin de sputtering maighnéada íseal, agus mar thoradh air sin cuirtear níos lú fuinnimh breise i bhfeidhm ag voltas claonta. Dá bhrí sin, éiríonn fuinneamh tosaigh na gcáithníní sputtering agus an caillteanas fuinnimh de cháithníní sula dtaisctear iad ar an bpíosa oibre níos tábhachtaí. Dá mhéad a bhíonn an fhoinse cumhachta, is amhlaidh is mó a bheidh fuinneamh tosaigh na gcáithníní spréite. Tá cumhacht ard mar sin a chabhródh le friotaíocht chaitheamh an scannáin.

（4） Dá airde fholús an sciath, is ea is lú imbhuailtí na gcáithníní, is ea is lú an fuinneamh a chailleann na cáithníní, agus is amhlaidh is fearr friotaíocht abrasion an sciath. I láthair na huaire, tá céim i bhfolús níos lú ná nó cothrom le 0.1pa ag an modh measartha ísealfhoirmithe um fhoirmiú scannán, agus tá an t-ábhar spriocdhírithe go cothrom nuair a bhíonn an leibhéal folúis ard.

（5） Sprioc-achar bonnlíne le próiseas filiméid sprice colúin amháin, úsáid 12 slat den fhráma leictreach mór fráma tionchair leictreach, is é an toradh go bhfuil feabhas suntasach tagtha ar an leibhéal solais agus frith-mhéarloirg, agus go bhfuil an dath chomh maith le 8 slat ná an fráma casadh beag go dubh roinnt, nach bhfuil chomh buí, ach go bhfuil go leor frithsheasmhachta ann.

（6） Bíonn tionchar mór ag rialú sreafa C2H2 ar fheidhmíocht an scannáin. Go ginearálta, glactar leis an gcéad bhealach tapa agus ansin mall. Tá sreabhadh C2H2 isteach sa tús ró-mhór, tá an scannán furasta a dhath, agus tá an strus mór, gan chaitheamh; Ag an tús, tá sreabhadh C2H2 ró-bheag, agus laghdaíonn cruas an scannáin. Ní féidir é a chaitheamh gan chaitheamh, agus tá an t-am fada. Níl an riocht solais go maith. Go ginearálta ag tús shreabhadh C2H2 ag deireadh shreabhadh C2H2 de thart ar thrian den earra.

Is iad na paraiméadair thuasluaite móide réimse maighnéadach na sprice spréite na fachtóirí is tábhachtaí a théann i bhfeidhm ar sil-leagan fuinnimh ian agus strus iarmharach an scannáin. Ní mheaitseálann siad ach le réasún, is féidir leo an teicneolaíocht sciath is fearr a fháil, an caighdeán scannán is fearr a fháil.

Layer 7） Ciseal trasnaithe TNG is é an aidhm atá le ciseal trasteorann TNN a chur le ciseal níos ísle crua a chur leis agus le ciseal scannáin níos frithsheasmhaí a fháil. Mar sin féin, léiríonn na torthaí turgnamhacha go bhfeabhsaítear friotaíocht chaitheamh próiseas filiméid aon-phoist le ciseal trasnaithe TiN, ach níl aon athrú suntasach ann don phróiseas sciath minicíochta idirmheánach. D’fhéadfadh sé a bheith toisc nach bhfuil cruas scannáin an phróisis filiméid aon cholúin chomh hard le próiseas cruas na minicíochta idirmheánaí. Ina theannta sin, tá an t-am a bhaineann le ciseal trasnaithe TNG sách gearr, rud nach bhfuil sé mar ról aige ciseal bun crua a chur leis.

（8） I bhfolús cúlra is amhlaidh is airde an folús cúlra, lúide na heisíontais a tugadh isteach nuair a bhíonn siad sciath, ionas go mbeidh dath an scannáin níos íon.

（9） Tá an t-am sciath ama ró-fhada, laghdófar an t-ord solais agus an éifeacht frith-mhéarloirg, agus, má mhéadaítear an t-am, tiús an scannáin, méadóidh an strus, d’fhéadfadh friotaíocht chaitheamh a bheith laghdaithe.

（10） Ceanglaítear ar an gciseal trasdulta miotail an píosa oibre a bombardú roimh sciath chun an ciseal ocsaíde a bhaint ar an dromchla. Tá gá le cúlslampa na gcáithníní bombardála (fuinneamh ag 100eV). Teastaíonn voltas ard-laofachta chun fuinneamh breise a chur i bhfeidhm ar na hiain. Mar sin féin, tá ráta ianúcháin íseal ag sputtering maighnéadar (go ginearálta, is é an fuinneamh tosaigh de cháithníní 2 ~ 20eV), lúide ian a ghintear, lúide fuinneamh breise a chuirtear i bhfeidhm de réir voltais chlaontachta agus deacrachta chun an ciseal ocsaíde a bhaint. AN tACHT UM THRÁCHT AR AN MBUNSCOIL AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 AN tACHT UM THRÁCHT AR BHÓITHRE 2010 An ciseal trasdul miotail (ciseal bog) taiscthe mar bhanda lomadh, rud a cheadaíonn "duillín coibhneasta" áirithe idir an mhaitrís agus an TIC ag leibhéal íseal struis. Ach laghdóidh ciseal trasdul miotail ró-thiubh an mhaitrís agus laghdóidh sé an fhriotaíocht chaitheamh.

（11） Ina theannta sin, is féidir le Ar ionad an gháis atmaisféir den phíosa oibre a athsholáthar agus an folús cúlra a fheabhsú. Mar gheall ar an éifeacht bheag, ní fhaca an tástáil éifeacht shoiléir .

（12） Tar éis an sciath a ghlanadh, féadfaidh glanadh an scannán C saor a bhaint, éifeacht méarlorg an scannáin a fheabhsú. Ach tá sé fós le tástáil an bhfuil éifeacht den sórt sin aige.

IKS PVD , foinse ian , córas brataithe sputtering meánmhéide , déan teagmháil le : iks.pvd@foxmail.com