Ní mór aird a thabhairt ar na hábhair nuair a bhíonn Pump Fholúis Ceart á Roghnú

Ní mór aird a thabhairt ar na caidéil bhfolús a bhfuil aird orthu:

1. Ba chóir go gcuirfeadh an brú oibre le caidéal folúis an folúis agus na ceanglais bhrú ar an trealamh bhfolús. Mar sin: ceanglais sciathán folúis de 1 × 10-5mmHg i bhfolús folúis, an céim i bhfolús caidéil folúis agus 5 × 10-6mmHg ar a laghad. De ghnáth roghnaigh caidéal céim bhfolús i bhfolús trealaimh bhfolús céim níos airde ná leath go ceann d'ord méadaithe amháin.

2. An pointe oibre caidéil bhfolús a roghnú i gceart. Tá raon áirithe brú oibre ag caidéil, mar shampla: caidéal idirleathadh le haghaidh 10-3 ~ 10-7mmHg, i raon leathan brú den sórt sin, an luas caidéalaithe nuair a athraíonn an brú, a chobhsaí raon brú oibre de 5 × 10-4 ~ 5 × 10-6mmHg. Mar sin féin, ba cheart pointe oibre na caidéil a roghnú sa réimse seo, agus ní féidir é a dhéanamh sa 10-8mmHg faoi obair fhadtéarmach. mar is féidir leis an caidéal sublimation tíotáiniam a bheith ag obair faoin 10-2mmHg, ach ba chóir go mbeadh a brú oibre níos lú ná 1 × 10-5mmHg chomh maith.

3. Ba chóir go mbeadh an caidéal folúis sa bhrú oibre in ann próiseas trealaimh i bhfolús a ghlanadh a ghineann an méid gáis go léir.

4. An meascán ceart de chaidéal folúis. Mar gheall go bhfuil caidéal fuinneoige caidéil roghnaithe ag an gcaidéal folúis, dá bhrí sin, ní féidir le caidéil a úsáid uaireanta riachtanais gáis a chaidéil, ní mór roinnt teaglaim caidéil a bheith ann, comhlánú a chéile chun freastal ar riachtanais an gháis chaidéalaithe Is féidir le luas áirithe, an dá chéile, a dhéanamh le caidéal sublimation tíotáiniam ar hidrigine a bhfuil luas caidéalaithe ard aige, ach ní tharlaíonn sé le héiliam, agus is féidir luas áirithe a dhéanamh ar chaidéal ian sputtering tríú (nó caidéil ian sputter chaidóid neamhshiméadrach de chineál bipolar) ar argón an gléas bhfolús chun níos fearr a fháil ar fholús. Ina theannta sin, is féidir le caidéal folúis oibriú i mbrú, an gá atá le folús; is gá go gcuirfí caidéal a úsáidtear i gcomhcheangal le roinnt brú asraon caidéil folúis thíos brú an atmaisféir.

5. Trealamh folúis le haghaidh ceanglais maidir le truailliú ola.Má chóir don trealamh i gceanglais dhian gan ola a roghnú gach cineál caidéil, mar shampla: caidéal fáinne uisce, caidéal asaithe criathar móilíneach, caidéal ian sputter, caidéil crióigineach.Más nach bhfuil na ceanglais docht , is féidir leis an gcaidéal breosla a bheith acu, chomh maith le bearta áirithe cosc ar thruailliú ola, mar shampla gaiste fuar, baffle, ola go maith, is féidir leis an bhfolús glan a bhaint amach freisin.

6. Tuiscint a fháil ar an gcomhdhéanamh gáis atá pumpáilte, an ghás ina bhfuil gaireas neamh-chomhdhlúthaithe gan áireamh, níl aon cháithníní deannaigh ann, níl aon chreimeadh ann. Ba chóir go n-aithneodh an caidéal folúis, an comhdhéanamh gáis a fhiosrú, go raibh rogha an chaidéil chomhfhreagracha gás pumpála. gaile, cáithníní, agus gás creimneach, a mheas sa phíopa iontaise caidéil nuair a shuiteáiltear trealamh cúnta, mar shampla comhdhlúthadán, bailitheoir deannaigh.

7. Tá galar caidéil folúis á scaoilte don timpeallacht tionchar a imirt ar conas. Mura gceadaítear truailliú comhshaoil, is féidir le caidéal folúis saor ó ola a roghnú, nó an gal ola a ídithe go lasmuigh.

8. Nuair a oibríonn an caidéal folúis de bharr tonnchrith ar an bpróiseas agus níl aon éifeacht ag an gcomhshaol. Mura gceadaítear an próiseas, níor cheart aon bheartú a dhéanamh ar na caidéil ná ar bhearta frith-chreathadh a thógáil.

9. Praghsanna caidéil folúis, costais oibriúcháin agus deisiúcháin.