Modh chun Scagadh As Scannáin Alloy

Modh chun sil-leagan scannáin chóimhiotail a sputtering

D'fhonn líon na spriocanna a úsáidtear sa chóras sputtering a laghdú, is féidir na scannáin tanaí cóimhiotail a chomhlíonann riachtanais an chomhdhéanaimh agus na feidhmíochta a ullmhú trí sil-leagan a sputting le sprioc amháin a mhéid agus is féidir, mar sprioc cóimhiotail, sprioc Mosaic ilchodach agus il - tabhair faoi sputtering.

Go ginearálta, sa riocht scaoilte cobhsaí, de réir chomhdhéanamh na sprice, bíonn éifeacht ag sputtering ar gach cineál adaimh chomhábhair, tá sciath spréite níos fearr ná galú i bhfolús agus plating ian sa mhéid sin: comhdhéanamh an scannáin agus níl na comhchodanna sprice chomh difriúil agus tá na comhchodanna sciath cobhsaí. Mar sin féin, i gcásanna áirithe, mar gheall ar an rogha feiniméan sputting de chomhpháirteanna difriúla, tá ráta frith-sputtering agus greamaitheacht an scannáin difriúil, rud a chuirfidh faoi deara go mbeidh na comhpháirteanna scannán agus sprioc Difríochtaí iontacha.Nuair a bhaintear an sprioc chóimhiotail seo amach, chun comhpháirteanna áirithe a dhéanamh den scannán, chomh maith leis an sprioc a ullmhú le cion áirithe de réir an turgnaimh agus teocht an sprioc a laghdú a mhéid is féidir, is féidir teocht an tsubstráit a laghdú freisin chun an difríocht sa ráta greamaitheachta a laghdú, agus is féidir coinníollacha cuí próisis a roghnú chun an éifeacht frith-sputtering ar an scannán a laghdú a mhéid is féidir.

I gcásanna áirithe, níl sé éasca limistéir mhóra de spriocanna cóimhiotail aonfhoirmeacha agus spriocanna cumaisc a ullmhú. Sa chás seo, is féidir glacadh le spriocanna Mosaic ilchodacha ina bhfuil gnéithe aonair. Taispeántar comhdhéanamh an dromchla sprice i bhfigiúr 1.Tá an struchtúr mósáic le cruth an lucht leanúna a thaispeántar sa FIG. Tá an éifeacht is fearr ag D, agus tá sé éasca comhdhéanamh an scannáin a rialú agus tá dea-in-atrialltacht ann. I bprionsabal, ní féidir cóimhiotail dhénártha, ach cóimhiotail thrínártha agus cheathartha a ullmhú leis an modh seo.

Fíor 1 spriocanna ilchodacha le struchtúir éagsúla

(a) sprioc bloc mósáic; (b) sprioc bhabhta mósáic; (c) sprioc bheag Mosaic cearnach; (d) sprioc mósáic atá múnlaithe ag lucht leanúna

Chun an dáileadh comhchodach comhfhreagrach sa scannán sputtering a dhéanamh, is féidir an sprioc Mosaic mar a thaispeántar i bhfíor 2 a úsáid. San fhigiúr, druileáladh sprioc ilchodach d'ábhar Al isteach i limistéar eitseáilte sprice de mhaitrís TI chun scannán cóimhiotail nó scannán cumaisc Ti Al N a ullmhú. Is féidir a fheiceáil ón bhfigiúr go bhfuil comhdhéanamh an scannáin difriúil ag suíomhanna difriúla an tsubstráit. Freagraíonn suíomh agus cainníocht inbhainte an ábhair Al don chomhdhéanamh cóimhiotail a chinntear, agus mar sin tá sé an-áisiúil chun scannáin chóimhiotail nó cumaisc a dhéanamh de chomhpháirteanna éagsúla leis an modh seo.

Fíor 2 Sprioc ilchodach Ti-Al Mosaic

Léirítear struchtúr an sprioctála il-sprice i bhfigiúr 3. Is féidir scannáin cumaisc a ullmhú tríd an tsubstráit a rothlú os cionn dhá sprioc nó níos mó agus rialú a dhéanamh ar thiús sil-leagan gach scannáin mar shraith adamhach amháin nó níos mó. Mar shampla, baineadh úsáid as spriocanna InSb agus GaSb chun scannáin criostail aonair in--xgax Sb a tháirgeadh. Cé go bhfuil an fheiste seo níos casta, is féidir scannán aon chomhpháirt a fháil trí luas uainíochta an tsubstráit a rialú agus an voltas a chuirtear i bhfeidhm ar gach sprioc a athrú. Trí na paraiméadair seo a rialú, is féidir comhdhéanamh an scannáin a athrú i dtreo thiús an scannáin, agus is féidir an struchtúr uachtarach a fháil.

FIG. 3 léaráid scéimreach de struchtúr spréite il-sprioc

Nuair a athraíonn comhdhéanamh an scannáin chóimhiotail go mór, úsáidtear an modh catóide cúnta de ghnáth. Déantar an príomh-sprioc chatóide de phríomh-chomhpháirt an chóimhiotail, agus déantar an sprioc chatóide cúnta den chomhpháirt bhreise den chóimhiotal. Rinneadh sputtering ar gach sprioc ag an am céanna chun scannán cóimhiotail a chruthú. Tríd an sruth den sprioc chatóide cúnta a choigeartú, is féidir méid na gcomhábhar breise sa scannán cóimhiotail a athrú ag uacht .

IKS PVD, sputtering córas sciath sil-leagan, teagmháil a dhéanamh linn anois, iks.pvd @ foxmail.com