Modhanna Tiomnaithe Sputtering do Alloy Scannán

D'fhonn líon na spriocanna a úsáideadh sa chóras sputtering a laghdú, is éard atá i gceist le sprioc amháin sputter agus scannáin cóimhiotail taisce a chomhlíonann na ceanglais chomhdhéanta agus feidhmíochta. Is féidir spriocanna cóimhiotail, spriocanna inlay ilchodacha, agus sputtering il-sprioc a úsáid sa chás seo.

Go ginearálta, i riocht urscaoilte seasta, de réir comhdhéanamh an sprioc, faoi réir sputtering faoi seach tá éagsúil adamh comhábhair. Buntáiste amháin a bhaineann le sciath sputtering i gcomparáid le galú i bhfolús agus plating ian ná go bhfuil an difríocht idir comhdhéanamh an tsraith scannáin agus an sprioc beag agus go bhfuil an comhdhéanamh sciath níos cobhsaí. Mar sin féin, i roinnt cásanna, mar gheall ar roghnú feiniméan sputtering na n-eilimintí comhdhéanta éagsúla, ráta sputtering droim ar ais éagsúla agus fórsa greamaitheachta scannáin, d'fhéadfadh go mbeadh difríocht mhór ag comhdhéanamh an tsraith scannáin agus an sprioc. Agus an cineál cóimhiotail seo á úsáid, d'fhonn an scannán de chomhpháirteanna áirithe a fháil, ba cheart teocht an tsubstráit a laghdú an oiread agus is féidir chun an difríocht i ráta greamaitheachta a laghdú chomh maith leis an sprioc sonrach a fhoirmliú de réir an turgnaimh agus íoslaghdú a dhéanamh teocht an sprioc. Chomh maith leis sin, laghdóidh na coinníollacha próiseas cuí an éifeacht sputtering droim ar ais ar an scannán.

I roinnt cásanna, tá sé deacair sprioc cóimhiotal aonfhoirmeach mór nó sprioc cumaisc a ullmhú. Mar sin, is féidir an sprioc mósáic ilchodach atá comhdhéanta d'eilimintí singil a úsáid. Taispeántar comhdhéanamh dromchla an sprioc i bhFíor 1. Ina measc, is é an struchtúr mósáic lucht leanúna-chruthach (d) an ceann is éifeachtaí, tá sé éasca rialú a dhéanamh ar chomhdhéanamh an scannáin, agus tá an t-athchumasacht maith freisin. I bprionsabal, ní féidir cóimhiotail dhénártha a dhéanamh, ach is féidir scannáin cóimhiotail chabhlaigh a dhéanamh tríd an modh seo freisin.

Fíor 1. Spriocanna ilchodacha i struchtúr difriúil

(a) Sprioc Mosaic Cearnóg (b) Sprioc Mosaic Babhta (c) Sprioc Mosaic Babhta Beaga (d) Sprioc Mósáic-chruthach Fan

Taispeántar struchtúr an sputtering il-sprioc i bhFíor 2. Tá an tsubstráit rothlaithe os cionn an dá sprioc nó níos mó, agus déantar tiús taiscí gach scannáin a rialú mar shraitheanna adamhach amháin nó go leor, agus go dtéann an scannán le taisceadh, ionas gur féidir scannán cumaisc a fháil. Mar shampla, d'ullmhaigh spriocanna InSb agus GaSb an scannán criostail aonair In1-xGax Sb. Cé go bhfuil an gléas seo casta, ach is féidir aon scannán comhpháirte a fháil trí luas uainíochta an tsubstráit a rialú agus an voltas a chuirtear i bhfeidhm ar gach sprioc a athrú. Is féidir na paraiméadair seo a rialú de réir an ama sciath, athraítear comhdhéanamh an scannáin i dtreo thiús scannáin agus is féidir an struchtúr superlaitíse a fháil.

Fíor 2. Léaráid scéimeach ar struchtúr sputtering il-sprioc

Úsáidtear modh catóide cúnta go ginearálta nuair a bhíonn an difríocht idir comhpháirteanna an scannáin mór. Déantar an príomh-sprioc catóide ar phríomhghné an chóimhiotail, agus déantar an sprioc catóide cúnta ar chomhpháirt bhreiseáin an chóimhiotail. Sputtered gach sprioc ag an am céanna chun an scannán cóimhiotail a fhoirmiú. Trí sprioc reatha an chaidáid chúnta a choigeartú, is féidir méid na gcomhpháirteanna breise sa scannán cóimhiotail a athrú go tréimhsiúil.