An Cause Of Infevenness Of Magnetron Sputtered Coating

Is cuma cén cineál meaisín costais i bhfolús, beidh fachtóir áirithe ag difear do chomhionannas na bratuithe.

Is é oibriú meaisín sciath an fhuinneog maighnéadach a dhéanamh go ndéanfaidh na leictreon na hionna argóineacha a chruthaíonn gás an argónta agus ansin déanann siad an sprioc a mhaolú ag an réimse maighnéadach orthogonal faoin stát bhfolús, agus déantar na hionna sprioc a thaisceadh ar dhromchla an workpiece sciath a dhéanamh. Mar sin, is féidir linn a mheas gur trí ghné a bhaineann le héideacht an tiúis scannáin gurb é an stát bhfolús, an réimse maighnéadach agus an argóint.

Tá an córas bhfolús rialaithe ag córas caidéalaithe aeir. Ní mór gach calafort caidéalaithe a ghníomhachtú ag an am céanna faoi neart comhsheasmhach ionas gur féidir aonfhoirmeacht an chaidéil a áirithiú. Mura bhfuil an pumpáil aonfhoirmeach, ní féidir leis an brú sa seomra folúis a bheith aonfhoirmeach, toisc go bhfuil tionchar éigin ag an brú ar ghluaiseacht ianna. Ina theannta sin, ní mór an t-am caidéalaithe a rialú. Ní bheidh an-fholús ann ró-ghearr, ach beidh sé ina dramhaíl acmhainní má tá sé ró-fhada. Ach go bhfuil gá le tomhasairí folúis riachtanach.

Oibríonn an réimse maighnéadach go huathoibríoch, ach tá sé dodhéanta go mbeadh an déine réimse maighnéadach 100% éide. Go ginearálta, i gcás go bhfuil an réimse maighnéadach láidir, beidh an tiús scannán mór, agus vice versa, mar sin beidh an tiús scannáin neamhréireach.

Bíonn aonfhoirmeacht an tsoláthair gáis argáin tionchar freisin ar aonfhoirmeacht an tsraith scannáin. Tá an prionsabal cosúil leis an gcéim fholús. Mar gheall ar iontráil gháis argónta, athróidh an brú sa seomra folúntais dá réir sin. Is féidir le héideacht an tiúis scannáin a rialú ag an brú aonfhoirmeach.

Cé go bhfuil roinnt fachtóirí i gcónaí a chuireann míchothromacht an scannáin ina chúis, ach tá ráta pas an scannáin an-ard má dhéantar oibriú ceart an mheaisín sciath bhfolús.