Córas Córais agus Cócaireachta Drive Trealamh Cumhdaigh PVD
Mar 31, 2018| Córas Céide
Ceadaíonn an córas tiomána an tsubstráit a shreabhadh ó fhoshraith a chur isteach sa ghléas le haghaidh taisceadh sputtering, chun teacht amach as an bhfeiste tar éis a phróiseáil a chríochnú. Tá an córas tiomána comhdhéanta de mhótair tiomána, roth scrollaigh, tiontaire minicíochta agus mar sin de. Is iad na cúiseanna leis an gcóras tiomána a chur leis ná:
(1) A chinntiú go ndéantar na cótaí tiús aonfhoirmeacha a dháileadh go forleathan.
(2) Éasca le tarchur uathoibrithe a bhaint amach.
Córas Fuarú
Is éard atá i gceist leis an gcóras fuaraithe den chuid is mó de na caidéil mhóilíneacha uisce, an tseomra, an ghrúpa caidéil agus an t-uisce tiomsaithe mótair tiomána. Is é a phríomhfheidhm ná an seomra folúis, caidéil, tiomáint, soláthar cumhachta, srl. A fhuarú. Is iad seo a leanas na riachtanais uisce fuar:
(1) Teocht: 17 ~ 22 ° C;
(2) Brú: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Ba cheart na cáithníní maighnéadacha a bhaint as uisce, agus ba chóir an t-uisce a ghlanadh, pH = 6 ~ 8.