Na Príomh-Paraiméadair a Dhéanann An Sputtering
Jun 09, 2018| 1. Tairseach Sputtering
Ní bhaineann luach fuinnimh íosta na n-ian eachtra a bhí ag teastáil chun atmaisféar sputter a bhaint amach a bhaineann leis an gcineál ian eachtra ach a bhaineann leis an sprioc. Tar éis an méid fuinnimh a bheith níos mó ná an tairseach sputtering, tá an toradh sputtering comhréireach le cearnóg an fhuinnimh ian roimh 150 ev de réir mar a mhéadaíonn an fhuinneamh ian, agus tá an toradh sputtering comhréireach le fuinneamh ian sa réimse 150 ev go 1 kev. I réimse 1kev ~ 10kev, athraíonn an toradh sputtering beagán. Nuair a tháinig méadú ar an bhfuinneamh arís, léirigh an toradh sputtering treocht anuas. Is iad seo a leanas na tairseacha sputtering de roinnt miotail a bhfuil buamáil orthu le hiain eachtra éagsúla.
| Miotal | Ion Sputtering threshod / eV | Sublimation Teas / eV | |||
| Ne | Ar | Kr | Xe | ||
| Ti | 22 | 20 | 17 | 18 | 4.40 |
| Cr | 22 | 22 | 18 | 20 | 5.28 |
| Fe | 22 | 20 | 25 | 23 | 4.12 |
| Cu | 17 | 17 | 16 | 15 | 3.53 |
| Zr | 23 | 22 | 18 | 25 | 6.14 |
| Ag | 12 | 15 | 15 | 17 | 3.35 |
| Au | 20 | 20 | 20 | 18 | 3.20 |
2. Toradh Sputtering
Tagraíonn toradh sputtering ar mheánlíon na n-adamh in aghaidh an ian dearfach a fhéadfar a aistarraingt ón sprioc nuair a bhíonn ionsaithe i gceist ag an sprioc. Áirítear na gnéithe seo a leanas sna gnéithe seo a leanas:
◆ Léiríonn an toradh sputtering tréimhsiúlacht áirithe leis an athrú ar líon adamhach an sprioc. Leis an méadú ar chéim leictreonacha na n-adamh sprice a líonadh leictreon, méadóidh an toradh sputtering (treocht atá ag athrú go garbh).
◆ Éifeacht speicis ian eachtra ar thorthaí sputtering
Méadóidh an toradh sputtering go tréimhsiúil le líon adamhach teagmhais a mhéadú.
An toradh sputtering airgid, copar, agus tannal a fhreagraíonn do éagsúlacht na n-eachtraí de 45Kev.
◆ Éifeacht uillinn minicíochta ian ar thorthaí sputtering
Maidir leis an sprioc céanna agus ian teagmhais, méadóidh an toradh sputtering mar uillinn teagmhais na méaduithe ian. Nuair a mhéadaíonn an uillinn go 70 ° ~ 80 °, is é an toradh sputtering an ceann is mó. Leanúint ar aghaidh ag méadú uillinn an mhinicíochta, laghdaítear an toradh sputtering go géar, agus tá an toradh sputtering 0 ag 900 °.
◆ Éifeacht an teocht sprioc ar thorthaí sputtering
Go ginearálta, i raon teochta inar féidir breithniú a dhéanamh go dlúth le toradh sputtering le fuinneamh sublimation, athraíonn an toradh sputtering go mór le teocht. Má tá an teocht níos mó ná an raon seo, bíonn an toradh sputtering ag méadú go tapa.
