Luas Pumpála an Gháis Ghníomhaigh Leis an gCaidéal ian

Luas caidéalaithe an gháis ghníomhach ag an gcaidéal ian

Tá roinnt gáis níos gníomhaí go ceimiceach, mar shampla hidrigin, ocsaigin, nítrigin, aonocsaíd charbóin, dé-ocsaíd charbóin, etc., agus is féidir leo comhdhúile cobhsaí a fhoirmiú go héasca leis an chuid is mó de mhiotail. Sa chaidéal ian, imoibríonn na móilíní gáis gníomhacha seo le tíotáiniam úr (nó tantalam) a sputtered amach trí bhuamáil ian ar an gcatóid chun comhdhúile soladacha a fhoirmiú mar nítríd tíotáiniam agus ocsaíd tíotáiniam, a "phumpáiltear ar shiúl" (go deimhin, arna gcaitheamh ag an gcatóid). imoibriú). Chomh maith le freagairt leis an ábhar catóide úr atá á sputtered, déanfar an gás gníomhach a instealladh freisin agus a scaipeadh isteach san ábhar catóide agus fanfaidh sé ann, rud a bhaint amach an éifeacht a bheith "pumpáilte ar shiúl"; Mar sin féin, i dteannta le hidrigin, ní dhéantar an chuid is mó den ghás gníomhach a instealladh isteach san ábhar catóide an-dhomhain, déanfar na codanna seo den ghás a instealladh isteach sa chatóid tar éis méid áirithe a bhaint amach, a scaoileadh faoin bombardú ian ina dhiaidh sin, ar a dtugtar an éifeacht saturation (féach an t-alt: luas caidéalaithe saturation caidéil ian, luas caidéalaithe neamhsháithithe agus luas caidéalaithe ainmniúil). Ag brú íseal, tá an luas caidéalaithe is airde ag an gcaidéal dé-óid leis an luas caidéalaithe ainmniúil céanna le haghaidh gáis ghníomhacha, agus ina dhiaidh Noble Diode, agus ag brúnna níos airde (os cionn 5E-6 mbar), tá an caidéal ian StarCell is airde. luas.

Cuideachta IKS PVD, meaisín sciath maisiúil, meaisín sciath uirlisí, meaisín sciath DLC, meaisín sciath optúil, líne sciath bhfolús PVD, tá an tionscadal cas-eochair ar fáil. Déan teagmháil linn anois, R-phost: iks.pvd@foxmail.com