Cumhdach Fholúis (Teicneolaíocht PVD)

Cumhdach folúis (Teicneolaíocht PVD)

1. Teicneolaíocht sciath folúis a fhorbairt

Ní thosaíonn teicneolaíocht sciath folúis ar feadh i bhfad. Sna 1960í, cuireadh teicneolaíocht CVD (deascadh gaile ceimiceach) i bhfeidhm ar uirlisí gearrtha carbide. De réir mar is gá an teicneolaíocht a chur i gcrích ag teocht ard (tá teocht an phróisis níos airde ná 1000 ° C), tá an cineál sciath singil agus tá srian mór uirthi, mar sin níor cuireadh i mbéal an phobail é ar dtús. Ag deireadh na 1970í, cuireadh tús le teicneolaíocht PVD (deascadh gaile fisiciúil), agus d'fhorbair teicneolaíocht sciath PVD go gasta i dtréimhse ghearr 20 go 30 bliain. Is iad seo a leanas na cúiseanna:

(1) cruthaíonn sé scannán i gcuas an fholús-shéalaithe, agus níl aon fhadhb truaillithe comhshaoil ann, a chabhródh le cosaint an chomhshaoil;
(2) féadfaidh sé dromchla geal agus sómhar a fháil. I dath, tá seacht gcinn de dhath, aibí, trédhearcach, órga, dubh agus aon dath ó órga go dubh, ar féidir leo freastal ar riachtanais mhaisiúla éagsúla;
(3) is féidir cótaí ceirmeacha agus bratuithe ilchodacha le cruas ard agus friotaíocht a chaitheamh atá deacair a fháil trí mhodhanna eile a fháil go héasca. Nuair a chuirtear i bhfeidhm iad ar uirlisiú agus ar mhúnlaí, is féidir an saol seirbhíse a dhúbailt agus is féidir éifeacht ioncaim ísealchostais agus ardioncaim a bhaint amach.
(4) ina theannta sin, tá dhá thréith ag teicneolaíocht sciath PVD de theocht íseal agus fuinneamh ard, agus is féidir léi scannán a dhéanamh ar fhoshraith ar bith beagnach. Dá bhrí sin, ní haon ionadh é go bhfuil raon leathan feidhmchlár agus forbairt thapa ag teicneolaíocht sciath PVD.

Le forbairt na teicneolaíochta brataithe i bhfolús, tá PCVD (deascadh gaile fisiciceimiceach), mt-cvd (sil-leagan gaile meánach teochta) agus teicneolaíochtaí nua eile tagtha chun cinn. Tá trealamh brataithe agus próiseas brataithe éagsúil tagtha chun cinn ar bhealach neamhfhoirmiúil. Faoi láthair, tá dhá mhodh PVD aibí ann: plating multiarc agus sputtering magnetron. Tá an trealamh plating il-stua simplí ó thaobh struchtúir agus éasca le feidhmiú. Is é an míbhuntáiste a bhaineann le plating il-stua nuair a shroicheann an tiús cótála 0.3um, go bhfuil an ráta sil-leagain gar don fhrithchaiteacht faoi riocht sciath ísealteochta le soláthar cumhachta DC traidisiúnta, agus éiríonn an foirmiú scannán an-deacair. Thairis sin, éiríonn an dromchla membrane hazy. Is é an míbhuntáiste eile a bhaineann le plating il-stua ná go dtéann an miotail i ndiaidh leá, mar sin tá na cáithníní deasctha níos mó, tá an dlús níos ísle, agus tá an fhriotaíocht caithimh níos measa ná an fhriotaíocht mhaighnéada. Is féidir a fheiceáil go bhfuil buntáistí agus míbhuntáistí faoi seach ag sciath il-stua agus sciath spréite maighnéada. D'fhonn an leas is fearr a bhaint as a gcuid buntáistí agus a chéile a chomhlánú a oiread agus is féidir, tháinig an meaisín brataithe le chéile le teicneolaíocht il-stua agus teicneolaíocht maighnéadar a chomhtháthú. Sa phróiseas, cuirtear modh nua plating il-stua i láthair, agus ansin tá an sciath tiubhaithe ag maolú maighnéadar, agus ar deireadh déantar dath an sciath dromchla a chobhsú ag plating il-stua.

2. Prionsabail theicniúla

Tá PVD (sil-leagan fisiceach gaile) roinnte ina fholús galúcháin sil-leagan, i bhfolús spréite. De ghnáth, deirimid go mbaineann an sciath PVD le sciath ian i bhfolús agus le sputtering bhfolús; De ghnáth, dúirt sciath NCVM, tagraíonn sé seo do sciath ghalú bhfolús.

Prionsabail bhunúsacha maidir le galú i bhfolús: faoi choinníollacha folúis, déantar galúirí miotail agus miotail a ghalrú, agus ansin cuirtear i dtaisce iad ar dhromchla an tsubstráit. Baintear úsáid as an modh galúcháin go coitianta le haghaidh téamh friotaíochta, agus bombards léas leictreoin an t-ábhar plating chun vaporize isteach sa chéim gáis, agus ansin taiscthe ar dhromchla an tsubstráit. Go stairiúil, is é galú folúis an teicneolaíocht is luaithe a úsáidtear i modh PVD.

Prionsabal bunúsach sciath sputtering: faoi choinníoll folúis gháis Argón (Ar), scaoilfear argón. Ag an am seo, déanfaidh na hadaimh Argón (Ar) ianú isteach in iain argóin (Ar). Faoi ghníomh an fhórsa réimse leictrigh, dlús a chur le hiain argóin bombardú an sprioc chatóidigh a dhéantar as ábhar pládaithe, a dhéanfar a sputtered amach agus a thaisceadh ar dhromchla an tsaothair. Is iondúil go bhfaightear na hiain eachtraíochta i sciath sputtering trí dhoirteadh glow sa raon l0-2 Pa ~ 10Pa. Dá bhrí sin, le linn na heitilte go dtí an tsubstráit, is gnách go n-imbhuaileann na cáithníní sputtered leis na móilíní gáis sa seomra folúis, ag déanamh treo na gluaiseachta randamach agus an scannán taiscthe éasca a bheith aonfhoirmeach.

Prionsabal bunúsach plating ian: faoi choinníollacha folúis, ag baint úsáide as cineál éigin de theicneolaíocht ionization plasma, ionas go dtáirgeann an adamh plating den ianú isteach ian, ag an am céanna go leor adamh neodrach ardfhuinnimh, sa tsubstráit plating móide claontacht diúltach. Ar an mbealach seo, faoi ghníomh claonta dhoimhne dhoimhne, cuirtear iain ar dhromchla an tsubstráit chun scannán tanaí a dhéanamh.

Céimeanna próiseála na teicneolaíochta PVD

1. Glanadh an tsaothair: baintear úsáid as argón chun sceite a bhaint nuair a bhíonn cumhacht dc ceangailte agus déantar bannaí argón a bombardú, a splancfaidh cáithníní agus salachar ar dhromchla an tsaothair.
2. Gásúchán plating: is é sin, tar éis acomhal, pléann an plating.
3. Imirce na n-ian plating: bíonn na hadaimh, na móilíní nó na hiain a sholáthraítear trí fhoinse ghásúcháin ag brú go dtí an tsaothar ag luas ard tar éis imbhuailte agus réimse leictreach ardvoltais;
4. Taisciú na n-adamh plaistigh, na móilíní nó na n-ian ar an tsubstráit: nuair a sháraíonn méid na n-ian ghalaithe ar dhromchla an phíosa oibre méid na n-ian splasáilte, carnann sé de réir a chéile chun sraith sciath a dhéanamh a chloíonn go daingean le dromchla an tsaothair .
Tar éis ianú cáithníní plating ian, tá trí mhíle i gceist leis an ábhar galúcháin ar fhuinneamh cinéiteach cúig mhíle volta leictreon, déantúsáin bombardú ardluais, ní hamháin go bhfuil luas taisce tapa, agus go bhfuil sé in ann an dromchla a threá, agus é ina chiseal domhain idirleata maitríse , is é doimhneacht idirleata an idirphlátála idir 4 agus 5 miocrón, is é sin le rá, ná an gnáth-fholús sciath doimhneacht idirleata dhomhain na n-amanna, fiú céad uair, agus chloígh a chéile chomh tapaidh.

Buntáistí maidir le feidhmíocht táirgí

1. Gnéithe teicniúla

(1) Is féidir scannán PVD a phlátáil go díreach ar chruach dhosmálta agus ar chóimhiotal crua. Maidir le teilgin bháis atá bog bog, amhail cóimhiotal since, copar agus iarann, ba cheart pláta cróimiam ceimiceach a dhéanamh ar dtús, agus ansin tá plating PVD oiriúnach. Mar sin féin, tá sé éasca pléascadh PVD a dhéanamh tar éis plating uisce, agus tá an ráta fabht ard.
(2) raonta teocht tipiciúil próiseála sciath PVD ó 250 450 go 450 ℃;
(3) cineál agus tiús sciath a chinneadh an t-am próisis, is é an t-am próiseas ginearálta 3 ~ 6 uair an chloig;
(4) PVD tiús ciseal sciath micron grád, tiús an tanaí, an meán de 0.3 m m ~ 5 miocrón, is é an tiús ciseal membrane maisiúil sciath coitianta go coitianta 0.3 m m ~ 1 m m, ionas gur féidir é a bheith nach beagnach difear do méadaíonn méid bunaidh an tsaothair gach cineál airíonna fisiceacha agus airíonna ceimiceacha ar dhromchla an tsaothair, agus is féidir leis méid an tsaothair a choinneáil, ní gá é a dhéanamh arís tar éis próiseáil plating;
(5) Ní hamháin go bhfeabhsaíonn teicneolaíocht PVD an neart nasctha idir ábhar brataithe scannáin agus foshraithe, ach forbraíonn sé freisin na comhpháirteanna brataithe ón gcéad ghlúin de TNN go TÉ, TiCN, ZrN, CrN, MoS2, TiAlN, TiAlCN, tin-aln, CNx , Bratuithe ilchodacha DLC agus ta-c, ag cruthú éifeacht dromchla dathanna éagsúla.
( 6) faoi láthair, is féidir dathanna an tsraith scannáin a dhéanamh ná ór dorcha, ór éadrom, caife, cré-umha, g g , dubh, liath-dubh, dath seacht, etc. Is féidir dath an phlátaithe a rialú trí rialú na paraiméadair sa phróiseas brataithe. Tar éis sciath, is féidir an luach datha a thomhas le hionstraimí ábhartha, ionas gur féidir an dath a chainníochtú chun a fháil amach an gcomhlíonann an dath plátáilte na riachtanais.

2. Buntáistí teicniúla

(1) tá feidhmíocht sciaththaithe sciath go maith
I ngnáth-sciath folúis, níl aon nasc beagnach idir dromchla an tsaothair agus an sciath, amhail is dá mbeadh sé scartha go hiomlán. Plating ian, déantúsáin ardluais bombardúcháin, a bhfuil ar a gcumas an dromchla a threá, agus ciseal idirleata maitríse a dhéanamh, bheadh idir 4 agus 5 miocrón i ndoimhneacht idirleata an phlátaithe ian, i ndiaidh pléascadh ian den eiseamal don tástáil teanntachta go léir bealach chun dul go briseadh, plating le fadú plaisteach plaisteach maitrís, gan feannadh nó scealpadh amach, infheicthe conas greamaitheacht láidir, ciseal membrane aonfhoirmeach, dlúth.
(2) toilleadh láidir foirceanta agus plating
Le linn plating ian, bogann na cáithníní galaithe i dtreo treo an réimse leictrigh i bhfoirm ian luchtaithe. Dá bhrí sin, cibé áit a bhfuil réimse leictreach ann, is féidir cótáil mhaith a fháil, atá i bhfad níos fearr ná an gnáthchlúdach folúis nach féidir a fháil ach sa treo díreach. Dá bhrí sin, tá an modh seo an-oiriúnach do phoill inmheánacha, do chliatháin agus do pháirteanna cúnga páirteanna plátáilte. Modhanna eile deacair codanna a phlátáil. Ní féidir le gnáthchlúdach folúis ach dromchla díreach a phlátáil, ní féidir le cáithníní galúcháin cosúil le dréimire dreapadóireachta ach dul suas an dréimire; Agus is féidir plating ian a bheith go haonfhoirmeach ar chúl na gcodanna plátála agus is féidir leis an bpoll istigh, hiain luchtaithe cosúil le héileacaptar, is féidir leo eitilt feadh an bhealaigh fhorordaithe go dtí áit ar bith laistigh de gha a ghníomhaíochta.

(2) caighdeán sciath maith
Tá an sciath de phláta ian dlúth, gan tollpholl, mboilgeog agus fiú tiús. Fiú amháin dromchla imeall agus groove is féidir a plátáilte fiú, ná foirm meall miotail. Is féidir páirteanna cosúil le snáithe a phlátáil, le hardness ard, friotaíocht ard-chaitheamh (comhéifeacht frithchuimilte íseal), friotaíocht creimeadh maith agus cobhsaíocht cheimiceach, saol an scannáin níos faide; Ag an am céanna is féidir leis an scannán cuma na n-airíonna maisiúla saothair a fheabhsú go mór.
(4) próiseas glantacháin simplithe
Éilíonn an chuid is mó de na próisis sciath atá ann cheana go ndéanfar an tsaothar a ghlanadh go dian roimh ré. Mar sin féin, tá ról glantacháin ian bombardúcháin ag an bpróiseas plating ian, agus leanadh leis an ról seo i rith an phróisis sciathála. Is féidir le héifeacht glantacháin den scoth, an sciath a dhéanamh díreach in aice leis an tsubstráit, an greamaitheacht a fheabhsú go héifeachtach, a lán oibre glantacháin réamhphlátála a shimpliú.

(5) raon leathan ábhar plating
Is é plating ian iain ardfhuinnimh a úsáid chun dromchla an tsaothair a bombardú, ionas go mbeidh cuid mhór fuinnimh leictrigh ar dhromchla an phíosa oibre ina fhuinneamh teasa, chun idirleathadh fíochán dromchla agus imoibrithe ceimiceacha a chur chun cinn. Mar sin féin, níl tionchar ag an teocht ard ar an bpíosa oibre iomlán, go háirithe an t-ionad oibre. Dá bhrí sin, tá raon leathan feidhmchlár agus teorannú beag sa phróiseas brataithe seo. Tríd is tríd, is féidir miotail éagsúla, cóimhiotail agus roinnt ábhar sintéiseach, ábhair inslithe, ábhair theirmoseimneacha agus ábhair leáphointe ard a phlátáil. Is féidir é a phlátáil ar an bpíosa oibre miotail nó ar phíosa nonmetal, is féidir é a phlátáil freisin ar an nonmetal nó ar an nonmetal, is féidir é a phlátáil plaisteach, rubar, Grianchloch, criadóireacht agus mar sin de.

Ionchas agus feidhmiú an mhargaidh

Tá dhá theideal i gceist le teicneolaíocht sciath PVD a chur i bhfeidhm go príomha: plating mhaisiúil agus plating uirlisí.
1. Plating mhaisiúil
An cuspóir atá le plating mhaisiúil: go príomha chun cuma an taibhse agus an dath maisiúla a fheabhsú, ag an am céanna chun creimeadh atá níos frithsheasmhaí ó chaitheamh a dhéanamh den lucht oibre agus a shaol seirbhíse a shíneadh; Baineann an ghné seo go príomha le gairm na crua-earraí gach fearann, cosúil le crua-earraí an dorais agus na fuinneoige, glais, crua-earraí earraí sláintíochta agus mar sin de ghairm.

2.Tá plátaí plátáilte
Cuspóir plating Uirlis: go príomha chun cruas dromchla agus friotaíocht an tsaothair a fheabhsú, an chomhéifeacht frithchuimilte den dromchla a laghdú, saol seirbhíse an tsaothair a fheabhsú; Úsáidtear an ghné seo go príomha in uirlisí gearrtha éagsúla, in uirlisí casadh (mar uirlisí casadh, plandálaí, dornálaí muilleoireachta, druilire agus mar sin de) agus táirgí eile.

IKS PVD, monarú meaisín i bhfolús cótáil ón tSín, déan teagmháil le: iks.pvd@foxmail.com