Cad atá Cumhdach Optúil

Sciath optúla-IKS PVD

Is próiseas sciath é sciath optúil ar dhromchla páirteanna optúla scannáin tanaí nó mhiotalacha (nó meánmhéide) tanaí. Is é an cuspóir atá le páirteanna optúla sciath ná machnamh solais a laghdú nó a mhéadú, scoilteadh bhíoma, scaradh dath, scagtha agus polarú. I measc na modhanna sciath a úsáidtear go coitianta tá sciath bhfolús (cineál sciath fisiciúil) agus sciath ceimiceach

Forbhreathnú

Is é an sciath ná modh fisiceach nó ceimiceach a úsáid i gcláir dhromchla ábhar ar chiseal trédhearcach membrane electrolyte, nó atá brataithe le sraith de scannán miotail, is é an cuspóir atá ann ná machnamh dromchla ábhar agus tréithe tarchurtha a athrú. Laistigh de raon feidhme na mbannaí infheicthe agus infridhearg, is féidir teacht ar 78% ~ 98% ar fhormhór na meaisín, ach níl siad níos airde ná 98%. Maidir le léasair CO2, úsáid copar, moluibdín, sileacan agus gearmáiniam, srl. Chun frithchaiteoirí a dhéanamh, gearmáiniam agus arséanáid chailiam, selenide sinc agus eilimint optúla tarchurtha mar ábhar fuinneoige aschuir, nó le léasair YAG glacadh le gnáthghloine optúla mar scáthán, scáthán aschuir agus ábhar eilimint optúla tarchurtha, ní féidir freastal ar riachtanais níos mó ná 99% den scáthán machnaimh iomlán. Éilíonn tarchuir éagsúil ar an scáthán aschur ar iarratais éagsúla, mar sin ní mór an modh sciath optúil a úsáid. Le haghaidh léasair CO2 sa bhanda tonn infridhearg, an t-ábhar sciath a úsáidtear go coitianta le fluairíd aítrí, fluairíd, praseodimiam, gearmáiniam, srl; Maidir leis an mbanda infridhearg in aice nó banna le feiceáil lampa léasair YAG, tá ábhair choiteann coitianta san áireamh sulfíde sinc, fluairíd mhaignéisiam, dé-ocsaíde tíotáiniam, zirconia, srl. Chomh maith le scannáin ardscéalaíochta agus trédhearcachta, is féidir scannáin speisialta a phlátáil chun tonnfhad amháin a léiriú agus a tharchur le tonnfhad eile, amhail an scannán speictreascópach i dteicneolaíocht dúbailte minicíocht léasair.

Prionsabal bunúsach sciath optúla

Úsáidtear forleathan optúil i optic scannáin tanaí. Is é an modh comhchoiteann de theicneolaíocht scannáin tanaí optúla ná scannán tanaí a chur i bhfeidhm ar shubstráit ghloine trí sputtering bhfolús, a úsáidtear chun rialú a dhéanamh ar fhéantúlacht agus ar tharchur an phláta bonn go dtí an eachtra chun freastal ar riachtanais éagsúla. Chun deireadh a chur leis an gcaillteanas machnaimh ar dhromchla an chuid optúil agus an caighdeán íomháithe a fheabhsú, tá scannán trédhearcach sraithe nó ilchiseal trédhearcach brataithe. Le forbairt na teicneolaíochta léasair, tá ceanglais éagsúla ann maidir le léiriú agus cur chun cinn an tsraith scannáin, a chuireann forbairt ar scannán ardchló ilchiseal agus scannán tréscaoilteachta leathanbhanda. Maidir le hiarratais éagsúla, úsáidimid scannán machnaimh ard chun scannán frithchaiteach polaraitheach, speictrófatiméadar datha, scagaire fuar agus scagaire iontrála srl. A tháirgeadh. Páirteanna optúla tar éis sciath dromchla, ar shraitheanna membrane iomadfhéideartha agus tarchur an tsolais, foirmiú trasna iompair il agus is féidir innéacs athfhriotail scannáin rialaithe agus tiús dáileadh déine éagsúla a fháil, is é seo an bunphrionsabal cur isteach sa sciath.

Próiseas cumhdaigh

Déantar scannáin tanaí optúla a bhaint amach i gcavities sciath ardfholúsacha. Éilíonn próiseas sciath traidisiúnta teocht níos airde d'fhoshraith (de ghnáth thart ar 300 ℃ ); Is féidir teicnící níos forbartha, cosúil le IAD, a dhéanamh ag teocht an tseomra. Ní amháin go dtáirgeann próiseas IAD scannáin a bhfuil airíonna fisiceacha níos fearr ná próisis sciath traidisiúnta, ach is féidir iad a chur i bhfeidhm freisin maidir le foshraitheanna plaisteacha. Is é an príomhchóras folamh ná dhá chaidéal crióigineach. Tá na modúil rialaithe maidir le galú leictreonacha, leictreach IAD, rialú solas, rialú téitheoir, rialú folúsach agus rialú próiseas uathoibríoch ar phainéal tosaigh an choiste.

Tá an dá fhoinse gunna leictreon suite ar dhá thaobh an tsubstráit, timpeallaithe ag cochall ciorclach agus atá clúdaithe ag an babhóg. Tá an fhoinse ian i lár, agus tá an fhuinneog rialaithe solais os comhair an fhoinse ian. Ag barr an tseomra folúis, tá córas pláinéadach ag an seomra folúis le sé n-achar ciorclach. Úsáidtear an daingneán chun an eilimint brataithe optúil a chur. Is é an modh is fearr a úsáidtear córais phláinéaracha chun dáileadh aonfhoirmeach na n-ábhar galaithe a chinntiú sa limistéar daingneáin. Rothlaíonn an clamp ar ais coitianta agus rothlaíonn sé ar a ais féin. Tá an rialú optúil agus rialú criostail i lár an mheicníocht tiomána phláinéidigh. Mar thoradh ar an oscailt mór ar chúl an caidéil ardfholús ceangailte. Is éard atá sa chóras teasa bonn ná ceithre lampa ceathrú, dhá cheann ar gach taobh den seomra folúis.

Ba é an modh traidisiúnta a bhaineann le taiscéalaíocht scannán tanaí galú teirmeach i gcónaí ná úsáid a bhaint as foinse ghalúcháin teasa frithsheontais nó foinse evaporation bhíoma leictreonacha. Is é fuinneamh na n-adamh taiscí a chinneann airíonna na scannán den chuid is mó, agus níl ach thart ar 0.1ev le fuinneamh na n-adamh i ghalú traidisiúnta. Is éard atá i gceist le taisceadh IAD ná taisciú díreach a dhéanamh ar ghaile ianaithe agus méadóidh sé an fuinneamh gníomhachtaithe don scannán atá ag fás, de ghnáth ag an ord 50eV. Feabhsaíonn foinsí ian na hairíonna a bhaineann le galar traidisiúnta de bhíoma leictreonaigh trína ndéantar an beam a chur as an gunna ian go dromchla an tsubstráit agus an scannán atá ag fás. Airíonna optúla scannáin thinn, mar shampla innéacs athfhriotail, ionsú agus tairseach damáiste léasair, go príomha ag brath ar mhicreastruchtúr na membrane. D'fhéadfadh an brú aeir iarmharach agus teocht an tsubstráit tionchar a bheith ag microstruchtú na scannán. Má tá ráta íseal imirce ag an atmaisféar taiscithe ar an mbonn dromchla, beidh micreapores sa scannán. Ós rud é go bhfuil an scannán nochta d'aer tais, líontar na pores seo de réir a chéile le taise.

Sainmhínítear an dlús líonadh mar an cóimheas de mhéid na coda soladach den scannán ar mhéid iomlán an scannáin (lena n-áirítear folúntais agus micreapoirí). I gcás scannáin tanaí optúla, is é 0.75 ~ 1.0 an dlús líonadh de ghnáth, is é 0.85 ~ 0.95 an chuid is mó agus is annamh a thagann 1.0. Déanann an dlús líonadh níos lú ná l an t-innéacs athfhorbartha ar an ábhar a ghabhann leis an bpobal níos ísle ná a bloc. Sa phróiseas taiscí, déanann criostail optúil nó grianchloch monatóireacht a dhéanamh ar thiús gach ciseal. Tá buntáistí agus míbhuntáistí ag gach ceann de na teicneolaíochtaí seo, nach bhfuil pléite anseo. Is é an pointe coitianta ná nuair a dhéantar na hábhair a ghlanadh, úsáidtear iad i bhfolús. Dá bhrí sin, is é an t-innéacs athfhriotail an t-innéacs athfhriotail de na hábhair a bhfuil an t-ábhar vaporized aige i bhfolús, seachas an t-innéacs athfhriotail d'ábhair atá faoi lé aeir tais. Cuireann an taise a ghlacann an scannán in ionad micreapores agus interstices, rud a fhágann innéacs athfhriotail mhéadaithe den scannán. Ós rud é nach bhfuil athrú tagtha ar thiús fisiceach an scannáin, tá an méadú seo ar an innéacs athfhriotail ag gabháil leis an méadú comhfhreagrach i dtiús optúla, rud a chuireann ina chúis le saintréithe speictrim na scannán chun sreabhadh fada a threorú. D'fhonn an sruth speictreach a laghdú de bharr méid agus méid na miocróipe sa chiseal scannáin, baineadh úsáid as ions ardfhuinnimh chun a n-móiminteam a aistriú go dtí adamh an ábhair evaporating, rud a mhéadaigh go mór ráta imirce adamh an ábhair le linn an chomhdhlúthaithe ag an mbonn dromchla.

An t-innéacs athfhriotail ar an sciath

De réir an teoiric bhunúsach de leictreamaighnéadachas, tagraítear tarchur agus machnamh ar na meáin éagsúla. Más rud é n1 teagmhas ingearach ag na meáin go n2 reflectivity = [(n2 - n1) / (n1 + n2) ^ 2 = 4 n1n2 ráta treo / (n1 + n2) ^ 2

Samplaí: má tá an t-innéacs athfhriotail d'aer 1.0, an t-innéacs athfhriotail ar fhlúdach (mar shampla: 1.5), innéacs athfhriotail gloine nc (mar shampla: 1.8) (1) in aer go díreach isteach sa tarchur gloine = 4 x 1.0 x 1.8 2 / (1 + 1.8) = 91.84% (2) in aer go sciath agus ansin isteach sa tarchur gloine = [4 x 1.0 x 1.5 / (1 + 1.5) 2] x [4 * 1.5 * 1.8 (1.5 + 1.8 ) / 2] = 95.2%

Méadóidh gloine brataithe inbhuaite tarchur solais. Chomh maith leis an bhfoirmle seo, is féidir linn a ríomh an t-solas a rothlú ar dhá thaobh an lionsa, fuair sé go bhfuil fiú píosa den innéacs athfhriotail lionsa álainn (1.8), an inmharthanacht de thart ar 85%. Le sciath (innéacs athfhriotail de 1.5), is féidir leis an tarchur 91% a bhaint amach. Is féidir an tábhacht a bhaineann le sciath optúil a fheiceáil.

Tiús cótála

Tá a fhios againn cheana féin go bhfuil baint ag an tarchur leis an innéacs athfhriotail ar an sciath, ach níl a fhios againn faoi a thiús. Mar sin féin, más féidir linn obair a dhéanamh ar thiús an chóta, faighfimid an difríocht idir an solas A a léirítear agus an solas a léirítear B. Más rud é nc x 2 d = (N + 1/2) lambda áit a bhfuil N = 0,1, 2,3,4,5 ... Is féidir le Lambda le haghaidh tonnfhad solais san aer a chur faoi deara go mbeidh tionchar millteach ag an bhfianaise a léirítear ar thonnfhadanna sonracha, agus mar sin déanfaidh dath an solas a léirítear athrú. Mar shampla, má thiús an sciath de bharr an solas glas a chealú, beidh solas le feiceáil dearg. Déantar go leor teileascóip ar an margadh atá cosúil le lionsaí dearga ag baint úsáide as an bprionsabal seo. Mar sin féin, níl an t-éadrom a tharchuirtear gan feiniméan deargach. I gcóras optúla casta go leor, is obair an-tábhachtach é cosc ar mhachnamh. Dá bhrí sin, úsáidtear tiús sciath difriúil chun an solas a léirítear ar mhinicíocht dhifriúil idir sraith lionsaí a dhíchur. Mar sin, an córas optúla níos mó chun cinn, beidh na dathanna níos mó le fáil.

Ábhair sciath optúla

Tá na cineálacha seo a leanas ag ábhar coitianta optúla coiteann:

1, fluairíd mhaignéisiam

Saintréithe Ábhar: Is féidir le púdar córas criostail gan chríoch gan dath, íonacht ard, le sciath optúil a ullmhú, an tarchur a fheabhsú, gan aon titim.

2, silica

Saintréithe Ábhar: criostail gan dath, trédhearcach, pointe leá ard, cruas ard, cobhsaíocht mhaith ceimiceach. Le sciath ard-chaighdeán Si02 d'íonachta ard, ullmhaíodh é, le riocht maith galúcháin agus gan aon bpointe báite. De réir na gceanglas úsáide, roinntear iad i bhfianaise ultraivialait, infridhearg agus infheicthe.

3, ocsaíd siorcóiniam

Saintréithe Ábhar Bán trom agus éadromach, innéacs ardfhuascailte agus friotaíocht teocht ard, cobhsaíocht cheimiceach, ard-íonacht, agus ullmhú sciath zirconia le caighdeán ard, ní an tubaiste.