Cad é an Nimhiú Sprioc i Magnetron Sputtering? Cad iad na Fachtóirí agus na Réitigh Tionchair Ghinearálta?

1. Tar éis nimhiú a sprioc

◆ Ionamh dearfach a bhailiú

Nuair a bhíonn an sprioc nimhithe, bunaítear scannán inslithe ar an spriocdhromchla. Nuair a thagann na hionna dearfacha amach ar an dromchla spriocóidí, ní féidir iad a iontráil go díreach mar gheall ar bhacainn an tsraith inslithe, ach iad a charnadh ar an spriocdhromchla. Mar sin, is é an réimse fuar a chruthaítear go héasca chomh maith leis an urscaoileadh stua - soilsiú stua. Mar sin, ní féidir leis an sputtering catóide dul ar aghaidh.

◆ Imíonn anóid

Nuair a dhéantar an sprioc a nimhiú, taiscítear scannán inslithe freisin ar bhalla an tsamhraidh i bhfolús. Ní féidir le leictreon a shroicheann an anóid isteach anóid agus imíonn siad.

2. Tionchar a imirt ar na fachtóirí a bhaineann le sprioc nimhiú

Is iad na fachtóirí a mbíonn tionchar acu ar an nimhiú sprioc ná cóimheas gás imoibríoch agus gás sputtering den chuid is mó. Beidh gás iomarcach imní ina chúis le nimhiú sprioc. I bpróiseas an phróisis sputtering imoibríoch, tá an réigiún cainéal sputtering ar an spriocdhromchla clúdaithe ag an táirge imoibrithe, nó déantar an táirge imoibriúcháin a scaoileadh amach chun an dromchla miotail a ath-nochtadh, a bhíonn ag trádáil agus ag casadh.

Má tá ráta foirmiú an chumaisc níos mó ná an ráta a scaipeadh an cumaisc, méadóidh an limistéar atá clúdaithe ag an cumaisc. Ag cumhacht áirithe, méadóidh méid an gháis imoibríoch a bhaineann le foirmiú comhdhúile, agus méadú ar ráta na bhfoirmeacha cumaisc. Má mhéadaíonn méid an gháis imoibríoch ró-iomarcach, méadóidh an limistéar atá cumhdaithe ag an cumaisc.

Mura féidir sreabhadh an gháis imoibríoch a choigeartú in am, ní féidir an ráta méadaithe ar an limistéar clúdaithe cumaisc a shárú, agus beidh an cainéal sputtering níos mó clúdaithe ag an cumaisc, nuair a bhíonn an sprioc sputtering clúdaithe go hiomlán ag an gcomhdhúil, tá an sprioc nimhithe go hiomlán.

3. Réiteach na nimhiú sprioc

◆ Cumhacht minicíocht mheánmhéide nó cumhacht RF a ghlacadh.

◆ Lúb dúnta a ghlacadh chun méid an gháis imoibríoch a rialú.

◆ Bain úsáid as spriocanna cúpla

◆ Athrú a dhéanamh ar mhodhanna sciath: Roimh sciath, déan an cuar éifeacht hysteresis a bhaineann le nimhiú sprioc a bhailiú, déanfar an sreabhadh iontrála a rialú ag tosaigh na nimhiú sprioc, agus a chinntiú go bhfuil an próiseas i gcónaí sa mhodh go dtiteann an ráta taisce go géar.