Soláthar Cumhachta Ard-chumhachta Magnetron Púdair
Buntáistí Soláthar Cumhachta Púdair Ard-chumhachta Teicneolaíocht Sputtering Ard-Chumhachta Púdair (HIPIMS) ● Tá cumhacht traidisiúnta DC magnetron teoranta ag strus teirmeach an sprioc. ● Is féidir an chuid is mó den fhuinneamh collisional ian a thiontú go díreach chuig fuinneamh teirmeach an ...
- Réamhrá Táirgí
Buntáistí a bhaineann le Teicneolaíocht Sputtering Magnetron Pulsed Ard-chumhachta ( HIPIMS )
● Tá cumhacht traidisiúnta DC magnetron teoranta ag strus teirmeach an sprioc.
● Is féidir an chuid is mó den fhuinneamh collisional ian a thiontú go díreach ar fhuinneamh teirmeach an sprioc.
● Cinntíonn an fhoinse cumhachta maighnéadach brúite cumhacht cuisle ard agus timthriall íseal dleachta.
● Is féidir leis an bhfoinse cumhachta maighnéadach bhrú athsholáthar díreach a dhéanamh ar fhoinse cumhachta sputtering DC magnetron.
Comparáid idir Scaoilte Sputtering Pulsed Magnetron Ard-chumhachta agus Uaslódáil Sputtering Magnetron DC
Gnéithe d'Urscaoileadh Sputtering Ard-Chumhachta Púdair | Gnéithe d'Urscaoileadh Sputtering Magnetron D |
Is é 500 ~ 2000 V an voltas a scaoileadh catóide, Tá dlús reatha suas le 3 ~ 4A / cm 2 . | Is é 0.01 ~ 0.05 T an déine réimse maighnéadach agus is é an voltas oibre 300 ~ 700 V faoi bhrú oibre tipiciúil DC magnetron sputtering (1 ~ 10 mTorr). |
An dlús leictreon in aice le dromchla an tsubstráit : 10 18 ~ 10 19 m - 3 | An dlús leictreon in aice le dromchla an tsubstráit: 10 15 ~ 10 16 m -3 |
Dlús cumhachta: 1 ~ 3kW / cm 2 | Ráta ísle íseal (~ 1%) den sprioc le linn sputtering. |
Minicíocht: 100 ~ 1000Hz | Tá an chuid is mó de na hiain ionsaí iontu |
Timthriall dualgas: 1% ~ 10% | Tá gá le trealamh ionaisithe cúnta breise (RF micreathonn). |
Gnéithe den Soláthar Cumhachta Sputtering Púdair Ard-chumhachta
● Tá an t- urscaoileadh leictreoid dhearfach agus diúltach á rialú ag lasc ardluais chun é a sheachaint ag dul isteach i limistéar scaoilte stua ó limistéar neamhghnácha scaoilte glow den sputtering traidisiúnta maighnéadach. Tá an dlús reatha suas le 1018-1019 / m3, atá thar a bheith níos airde ná an sputtering traidisiúnta maighnéadach. Agus le ráta ionization an-ard de 80% -99%, féadann sé éagsúlacht scannán chun cinn a éascú go héasca le greamaitheacht láidir.
● Soláthraíonn cumhacht sputtering maighnéadach ard-chumhachta tréithe scannáin níos fearr ó thaobh comhsheasmhacht scannán, cruas, friotaíocht caitheamh agus greamaitheacht.
● Déanann teicneolaíocht a bhaineann le halt PHP a chinntiú gur féidir le húsáideoirí cáilíocht an scannáin a dhéanamh níos áisiúla sa phróiseas cóireála dromchla. Leis na gnéithe a bhaineann le cobhsú voltas agus coup de foue idéalach, is féidir leis an soláthar cumhachta cosc a chur go héifeachtach ar an dromchla ar an dromchla oibre, agus feabhas mór a chur ar tháirgeacht táirgthe, ar mhéara dromchla agus ar ghreamú scannán na bpíosaí plating.
● Glacann an soláthar cumhachta maighnéadach ard-chumhachta chun cinn teicneolaíocht foinse cumhachta aistrithe ard-minicíochta ard-mhinicíochta agus modúl cumhachta IGBT ardchumhachta
● Úsáid an microcontroller scáileán tadhaill, tá an soláthar cumhachta an-chomhtháite agus cumhachtach le feidhmiú éasca. Tá taispeáint reatha agus voltais an-soiléir agus iomasach. Chomh maith leis sin, tacaíonn sé le comhaireamh ardluais il-chainéil agus feidhm cuisle ardluais.
● Tá na feidhmeanna cosanta ag an soláthar cumhachta le haghaidh teocht ró-reatha, ró-voltais agus os cionn teocht.
● Is féidir leis an soláthar cumhachta cumarsáid a dhéanamh leis an ríomhaire óstach trí na calafoirt dhigiteacha ar nós RS232, RS485, WIFI agus mar sin de, a leathnaíonn a fheidhm rialaithe.
Sonraíocht Táirge:
Samhail Táirge | |
Cumhacht agus Minicíocht Ionchur (V / Hz) Trí Chéim agus Ceithre Wire | AC380 + N |
| 60Hz | |
Raon Reatha Aschuir (A) | 0 ~ 500 |
Cruinneas le haghaidh Voltag Constant agus Reatha Constant | ≤1% |
Voltas Aschuir Rátáil (DCV) | 800 |
Uasmhéid chumhachta (KW) | 40 |
Buaicphointe (KW) | 400 |
Dualgas timthriall (%) | <> |
Meáchan (KG) | 60 |
Toisí Seachtracha (MM) | 575 (D) × 480 (W) × 250 (H) |
Grád Inslithe | B |
Táirgiúlacht (%) | 90 |
Aicme um Chosaint Imfhálú | Ip21 |
Mód Oibriúcháin | Tá Modhanna Cumhachta Reatha Constantin, Conarthaí Reatha Constantine Roghnach. |
Mód Fuarú | Fuarú uisce |
Comhéadan Seachtrach | Tacaíonn na Táirgí Sraith seo go léir an Microcontroller Screen Screen |
Comparáid idir Foinse Cumhachta Sputtering Ard-Power Impulse Magnetron EP50A80H agus Táirgí Eile
Ard-chumhacht Impulse Magnetron Sputtering | |||
Branda | Hauzer | IKS | |
HIPIMS + | EP50A80H | ||
Max Cumhacht Meán | 20KW | 20KW | 40KW |
Cumhacht Buaic | 1MW ~ 8MW | 360KW | 400KW |
Voltas | 1KV, 2KV | 800 | 800 |
Reatha | 1KA, 2KA, 4KA | 600 | 500 |
Brath Arc | <> | <> | <> |
Pacáil (B * H * T) | 483x635x676 | null | 480x268x700 |
Buntáistí a bhaineann le Cumhacht Sputtering Magnetron Pulsed Ard-chumhachta EP50A80H
● Ard-iontaofacht
Cuireann EP50A80H tréithe scannáin níos fearr ar fáil i dtéarmaí comhsheasmhacht scannán, cruas, friotaíocht caitheamh agus greamaitheacht.
● Teicneolaíocht ardchaighdeáin stua
Glacann EP50A80H teicneolaíocht cosc ar fhócas PHP, ionas gur féidir le húsáideoirí caighdeán an scannáin a rialú i gcóireáil dromchla chun struchtúr scannán níos fearr a fháil.
Féadfaidh EP50A80H an soláthar cumhachta sputtering maighnéadach atá ann cheana féin a chur in ionad go díreach. In ionad na n-ábhar catóide agus na réimsí maighnéadacha a athsholáthar, ní mór d'úsáideoirí ach an córas fuaraithe a mhalartú.
● Cóimheas ard-chumhacht go toirte
Déanann cóimheas ard-chumhachta comhtháthú suiteáil trealaimh níos éasca d'úsáideoirí.
Iarratas
Úsáidtear go forleathan foinse cumhachta MF magnetron sputtering i réimsí taighde plasma, fisiceacha, ceimiceacha, leighis agus eolaíocha éagsúla, is féidir leis raon leathan de riachtanais phróiseas a chomhlíonadh go háirithe i dtrealamh sciath bhfolús.
